日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE60N20 |
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MAX排气速度(L/min) |
100000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
3.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
515×950×1080 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE60N20主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的优点有很多。苏州KASHIYAMA干式真空泵现货

干式无油真空泵。工作泵腔无油无水,既不会对真空室产生污染,更不会污染抽取介质。且配套少,也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵,但后期的使用维护成本,干式无油真空泵却要远远低出,而且时间越久,后期成本差异就愈加明显。
干式无油螺杆真空泵是一种干式作业、无触摸、等螺距的螺杆型真空泵。两螺杆经过精密动平衡处理,由轴承支撑,设备在泵壳中,螺杆与螺杆之间有一定空隙,泵作业作业平稳,相互无冲,作业腔无介质。因此,干式无油螺杆真空泵能抽除含有许多可凝性气体及粉尘的气体,是环境友好型、节能型真空泵。它比油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等型号真空泵适用性更强。 北京干式真空泵报价干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 干式真空泵的好处您了解多少呢? |

干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
2013年止,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。 浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。南京SDE1220干式真空泵中国授权代理商
干式真空泵的系列有很多种。苏州KASHIYAMA干式真空泵现货
日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU180X |
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MAX排气速度(L/min) |
3000 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
95kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU180X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
苏州KASHIYAMA干式真空泵现货
排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器科技有限公司为您提...