企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE4030M20

MAX排气速度(L/min)

80000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

800×1580×1320



二、 配置清单:



序号

描述

数量

备注

1

SDE4030M20主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


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KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):

SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1   

2) 机械增压泵(KMB603) 1   

3) 电源盒  1   

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1   

6) 消音器(SR-19) 1


南京MU180X干式真空泵代理商浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。

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KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:

型 号

项 目

SDE603TX

注1)MAX排气速度

10000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

MAX气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

MAX排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.1kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

10.5 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  MAX供

(计示压力)

0.5MPa

**小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM


型号

NeoDry7E

NeoDry15E

NeoDry30E

NeoDry36E

NeoDry60E

Zui大排气速度

120L/min

250L/min

500L/min

600L/min

1000L/min

电源式样 1

单相:200-240V/三相:200-240V

到达压力 

50Pa

1.0Pa

Zui大允许进气压力

大气压

Zui大水蒸气处理量 2

3 120g/h

250g/h 3

3 350 g/h

3 600g/h

使用电动机

0.4 kW

0.75kW

1.5W

进气口径

KF25(法兰接头)

KF40(法兰接头)

排气口径

KF25(法兰接头)

概略重量

19kg

23 kg

25 kg

54 kg

56kg

噪音(dB(A)

56

≤58

≤60

注1)如使用其他电源,请与我司联系。

注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。

注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。


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日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE1220

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

400×780×930



二、 配置清单:



序号

描述

数量

备注

1

SDE1220主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。广州NEODRY 15E干式真空泵正规代理

浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。无锡NEODRY 36E干式真空泵价格

日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU600P/H

MAX排气速度(L/min)

10000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

0.95KW

外型尺寸WHL [mm]

350×520×630

质量【kg】

130kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU600P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  无锡NEODRY 36E干式真空泵价格

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