- 产地
- 日本
- 品牌
- KASHIYAMA
- 型号
- Neodry 36E
- 是否定制
- 否
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。 干式真空泵的优缺点您知道吗？深圳NEODRY 30E干式真空泵维修点
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型 号 项 目 |
SDE1203TX |
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注１）Max排气速度 |
20000 L/min |
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注１）极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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Max进气口压力 |
大 气 压 注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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Max排气背压（计示压力） |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.2kW |
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进气口（法兰） |
ISO100 |
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排气口（法兰） |
ＮＷ25 |
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润滑油量 |
1.2L（含氟油） |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注３） 允许电压变动值 ±10％ |
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容 量 |
11 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
Max供压 （计示压力） |
0.5MPa |
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Max小压力
|
0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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注４） 氮 气 |
向干泵供给压 （规压） |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM 北京KASHIYAMA干式真空泵维修干式真空泵的主要特点是：清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。 |
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干式真空泵与油泵的性能比较：
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项 目 |
ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 （根据使用情况，需要频繁更换） |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少，O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触，无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 （使用氟油的情况费用较高） ・需要更换叶片及阀门。 （因叶片为接触式） |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。
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干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
浚和（上海）仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。
日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
SDE60N20 |
|
MAX排气速度（L/min） |
100000 |
|
达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V，380-480V |
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消费电力（KW） |
3.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
515×950×1080 |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE60N20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 您喜欢干式真空泵的这些特点吗？常州KASHIYAMA干式真空泵报价
干式真空泵的主要特点都有哪些呢？深圳NEODRY 30E干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单
一、MU100X技术参数：
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式样 |
MU100X |
|
ZUI大排气速度（L/min） |
1660 |
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达到压力（Pa） |
1.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×275×450 |
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质量【kg】 |
60kg |
二、MU100X配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU100X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
深圳NEODRY 30E干式真空泵维修点
干式无油真空泵。工作泵腔无油无水，既不会对真空室产生污染，更不会污染抽取介质。且配套少，也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵，但后期的使用维护成本，干式无油真空泵却要远远低出，而且时间越久，后期成本差异就愈加明显。干式无油螺杆真空泵是一种干式作业、无触摸、等螺距的螺杆型真空泵。两螺杆经过精密动平衡处理，由轴承支撑，设备在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定空隙，泵作业作业平稳，相互无冲，作业腔无介质。因此，干式无油螺杆真空泵能抽除含有许多可凝性气体及粉尘的气体，是环境友好型、节能型真空泵。它比油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等型号真空泵适用性更强。浚和(上海)仪器有限公司是一...
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