企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

 

NeoDry Series

Roots多段式干泵

涡旋式泵

  

采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化

泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。

维护性

基本免维护

需要定期的密封垫O/H(每年)

  (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。

每年需要维护。

密封垫贵

疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。

水蒸气排气能力

水蒸气排气能力高。

 350g/r/250g/r  

        (NeoDry36C30C、15C

气镇阀对到达压力性能的影响小。

(有气镇阀时:2Pa以下)

泵结构上不适合水蒸气排气。

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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


成都SDE1220干式真空泵正规代理浚和(上海)仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。

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日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU180X

MAX排气速度(L/min

3000

达到压力(Pa

1.5

电源电压

3 AC200-220V

消费电力(KW

0.5KW

外型尺寸WHL [mm]

280×299×550

质量【kg

95kg

二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

MU180X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

设备原产地:日本 

 

日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE20M12TX

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

460×960×900



二、 配置清单:



序号

描述

数量

备注

1

SDE20M12TX主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

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日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE20N12TX

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

3.3KW

外型尺寸WHL [mm]

450×1000×1000



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE20N12TX主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的优势您了解多少呢?上海KASHIYAMA干式真空泵授权代理

一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?无锡SDL12E50干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE20M09X

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

2.6KW

外型尺寸WHL [mm]

460×960×900



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE20M09X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 无锡SDL12E50干式真空泵中国授权代理商

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