半导体轮廓仪原理

    随着时代的发展，轮廓仪也越来重要了，不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测，***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化，并分别在X和Z方向上对其进行采样，并将其转换为电信号。电信号被放大和处理，然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓，分离表面并计算粗糙度分量，测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标，或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出，也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车，摩托车和制冷行业，它可以测量活塞，活塞销，齿轮的总线参数和汽车，摩托车和压缩机的阀门柱塞，可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中，内护套环的密封槽的形状（角度，倒角R，槽深，槽宽等）；各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部，角度和对数曲线；电机轴，圆柱销，活塞销，滚针轴承，圆柱滚子轴承。NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；准确度<1% ；重复性<0.1% (1σ，10um台阶高)。半导体轮廓仪原理

    超纳轮廓仪的主设计简介:

中组部第十一批“千人计划”特聘专家，美国KLA-Tencor（集成电路行业检测设备市场的龙头企业）资 深研发总监，干涉测量技术专家美国上市公司ADE-Phaseift的总研发工程师，创造多项干涉测量数字化所需的关键算法，在光测领域发表23个美国专利和35篇学术论文3个研发的产品获得大奖，国家教育部第 一批公派研究生,83年留学美国。光学轮廓仪可广泛应用于各类精密工件表面质量要求极高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了三维光学轮廓仪，没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。（网络）。 氮化镓轮廓仪干涉测量应用支持连接MES系统，数据可导入SPC。

NanoX-系列轮廓仪代 表性客户

• 集成电路相关产业

– 集成电路先进封装和材料：华天科技，通富微电子，江苏纳佩斯

半导体，华润安盛等

• MEMS相关产业

– 中科院苏州纳米所，中科电子46所，华东光电集成器件等

• 高 效太阳能电池相关产业

– 常州亿晶光电，台 湾速位科技、山东衡力新能源等

• 微电子、FPD、PCB等产业

– 三星电机、京东方、深圳夏瑞科技等  

具备 Global alignment & Unit alignment

自动聚焦范围 ： ± 0.3mm

XY运动速度 最快

如果有什么问题，请联系我们。

    filmOnline查film3D图像並与其互动.请参考我们新型光学轮廓仪!film3D使得光学轮廓测量更易负担最 后，表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。film3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率,film3D同样使用了现今最 高 分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技术资料索取报价这就是您需要的解析力Thefilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。最 新!免费的网路3D影像浏览/分析filmOnline可存储、共享、查看与分析来自您的光学轮廓仪或3D显微镜之3D影像。任何台式电脑，平板电脑或智能手机上都能查看和操作。享受全 面的图像分析功能，包括表面轮廓（粗糙度）和阶高 分析。其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt功能。以我们的阶高标准片建立标准每film3D配备了一个10微米阶高标准片，可达％准确度。另我们还提供具有100nm，2微米以及4微米等多阶高标准片。NanoX-8000 的XY 平台最 大移动速度：200mm/s 。

强大的轮廓仪光电一体软件

美国硅谷研发、中英文自由切换

光机电一体化软硬件集成

三维分析处理迅速，结果实时更新

缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理

自主设定测量阈值，三维处理自动标注

测量模式可根据需求自由切换

三维图像支持高清打印

菜单式参数设置，一键式操作，人机界面个性直观

个性化软件应用支持

可进行软件在线升级和远程支持服务

10 年硅谷世界500强研发经验（BD Medical

Instrument）

光学测量、软件系统

岱美仪器将为您提供全程的服务。

轮廓仪广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。半导体轮廓仪原理

满足您需求的轮廓仪  

使用范围广: 兼容多种测量和观察需求  

保护性: 非接触式光学轮廓仪

耐用性更强， 使用无损 

可操作性:一键式操作，操作更简单，更方便  

智能性:特殊形状能够只能计算特征参数  

个性化: 定制化客户报告模式 

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1.精度高,寿命长---采用超高精度气浮导轨作为直线测量基准，具有稳定性好、承载大、永不磨损等优点，达到国内同类产品较高精度。  2.高精度光栅尺及进口采集卡---保证数据采样分辨率，准确度高，稳定性好。（网络） 半导体轮廓仪原理

岱美仪器技术服务（上海）有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。岱美中国深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供高品质的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。岱美中国创始人陈玲玲，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。