KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 MU180X干式真空泵报价想要买干式真空泵?您要先了解干式真空泵的特点。 |

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1200P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.05KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
380×655×820 |
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质量【kg】 |
185kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。此为立式双螺杆干式真空泵,它的吸气和排气原理和大多数是一样的,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空更高,而消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。 浚和(上海)仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。

日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18X |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20M18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 上海干式真空泵批发推荐浚和(上海)仪器有限公司。广州NEODRY 36E干式真空泵价格
浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。广州NEODRY 36E干式真空泵价格
日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL36E60 |
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MAX排气速度(L/min) |
60000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
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重量(kg) |
920 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL36E60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 广州NEODRY 36E干式真空泵价格
螺杆干式真空泵特征:①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。②操作维护方便。③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。浚和(上海)仪器科技有限公司是一家专业提供干式真空泵 的公司,有想法的不要错过哦!河南药品干式真空泵售后评价爆裂有两个指标:可燃物质的闪点及燃点 。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有...