企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):

SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1   

2) 机械增压泵(KMB603) 1   

3) 电源盒  1   

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1   

6) 消音器(SR-19) 1


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干式真空泵与油泵的性能比较:

项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

**设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。

MU180X干式真空泵报价想要买干式真空泵?您要先了解干式真空泵的特点。

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日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU1200P/H

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

1.05KW

外型尺寸WHL [mm]

380×655×820

质量【kg】

185kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。此为立式双螺杆干式真空泵,它的吸气和排气原理和大多数是一样的,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空更高,而消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。 浚和(上海)仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。

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日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU20M18X

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

1.5KW

外型尺寸WHL [mm]

500×950×1100

质量【kg】

340kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU20M18X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  上海干式真空泵批发推荐浚和(上海)仪器有限公司。广州NEODRY 36E干式真空泵价格

浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。广州NEODRY 36E干式真空泵价格

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDL36E60

MAX排气速度(L/min)

60000

达到压力(Pa)

0.8

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

850×1295×1370

重量(kg)

920



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDL36E60主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 广州NEODRY 36E干式真空泵价格

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