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DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：

       门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

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无氧化烘箱主要是起到保护的作用的

       无氧化烘箱等干燥设备都有保险丝之类的系统，是起到保护作用的，在使用过程中，若是真空烘箱的使用频率过高或者温度过高的话，保险丝起着保护电路的作用就会自己熔断，遇到过这样的问题，您只需将新的更换好就行。不是质量问题，在使用时要设定好温度，不要过高，建议在使用的量程之内，使用温度过高不仅会影响干燥箱的寿命，也会带来其他的麻烦。

       无氧化烘箱在真空泵前级加装了冷凝器，水蒸汽通过冷凝器后，一部分水蒸汽被冷凝成水的液体，剩下少部分水蒸汽被真空泵抽走。随着时间增加，如果抽取的水蒸汽过多，真空泵中的油在约30天左右会被卤化，用户可以根据使用情况按需要更换它。

     无氧化烘箱为整体隧道式结构。层流循环短时间灭菌方式，分为预热区、热风循环烘箱高温灭菌区和冷却区三部分。由机架、过滤器、加热装置、冷却装置、风机、传动装置、不锈钢传送网带及电气控制柜等部件组成。无氧化烘箱为**结构，被安装在离烘箱不远的墙边烘箱的上部有层流箱；中部有预热区、加温区、冷却区连接而成的箱体；无氧化烘箱的下部装有传动装置、排风装置和电气端子柜预热区由送风机、抽湿风机、手动调节风门、中效过滤器和过滤器等组成。 湖北高温无氧烘箱还原气氛怎么处理高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

充氮烘箱的氮气接口使用方法

       充氮烘箱分为：鼓风式和真空式两种

       鼓风式充氮气一般需要箱体满焊确保氮气损耗快，在烘箱上配一个氮气快插接口，用于快速连接氮气管路，如果避免氮气快插接口有漏气问题，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子**去后把密胶圈往外拉一下确保密封。

       真空式充氮气一般都用类似煤气阀的手动阀门，向外的一头就是用于连接氮气管子的快插接口，，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子**去，使用时打开阀门即可。

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气氛炉经工艺试验保养工作

       设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

       1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

       2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

       3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

       4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

       5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

       6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

       7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

       8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。福建高温无氧烘箱DTN450C

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气氛炉产生故障的注意及应急方法

       编制使用维护操作规程，建立运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的热修，并根据电炉子负荷和工作状况，提前有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关，其波动寿命6000～10000h。

  气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。

  在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。

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