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苏州NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数： ...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE60N20
MAX排气速度（L/min）	100000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	3.7KW
外型尺寸WHL [mm]	515×950×1080

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE60N20主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。浚和（上海）仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。苏州NEODRY 30E干式真空泵

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。北京NEODRY 30E干式真空泵维修Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

型号	ＮｅｏＤｒｙ7E	ＮｅｏＤｒｙ15E	ＮｅｏＤｒｙ３0E	ＮｅｏＤｒｙ３6E	ＮｅｏＤｒｙ60E
Zui大排气速度	120L/min	250L/min	500L/min	600L/min	1000L/min
电源式样注1）	单相：200-240V/三相：200-240V
到达压力	5．0Pa	１．０Pa
Zui大允许进气压力	大气压
Zui大水蒸气处理量注2）	注3） 120ｇ／ｈ	250g/h 注3）		注3）３５０ｇ／ｈ	注3） 600ｇ／ｈ
使用电动机	０．４ｋＷ			０．７５ｋW	1.5ｋW
进气口径	KF２５（法兰接头）		KF４０（法兰接头）
排气口径	KF２５（法兰接头）
概略重量	19ｋｇ	23 ｋｇ	25 ｋｇ	54 ｋｇ	56kg
噪音（dB(A)）	≤５６			≤58	≤60
注１）如使用其他电源，请与我司联系。注２）水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀（选配）。注３）气镇阀（选配）全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为１０Pa左右。

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

浚和（上海）仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDL12E50/60
MAX排气速度（L/min）	25000
达到压力（Pa）	0.8
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	520×1050×1020
重量（kg）	645

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDL12E50/60主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。浚和（上海）仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。上海干式真空泵代理商

对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。苏州NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU20N18X
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.0KW
外型尺寸WHL [mm]	1000×450×950
质量【kg】	410kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU20N18X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本苏州NEODRY 30E干式真空泵

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