安徽高温无氧烘箱产生故障

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

YAMATO光刻胶烤箱可以实现处理温度500℃，洁净度100级，氧浓度低于20ppm.安徽高温无氧烘箱产生故障

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～600℃

②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at600℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9.5KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 湖南高温无氧烘箱选购俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN660C厌氧高温气氛炉。

DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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使用高温炉应该选择储备哪些备件？

1、加热元件和隔热屏

       加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏，具有许多不同的大小和配置，往往又不是一个容易储存的部件。这些部件会随着时间的推移缓慢降解，具体取决于它们所接触到的温度、气体和污染物。检查加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。如果总体KVA使用量增加，或者电压和电流与这些数字严重偏离，则可能表示加热器有一定损耗。温度均匀性测试还可以提供有关加热区状况的重要数据。

2、传感器

  热电偶通常是用于测量温度的主要传感器。虽然它们通常被护套延长寿命，但随着时间的推移，它们容易漂移，需要定期更换，以确保准确的反馈温度。真空和压力传感器也需要定期检查精度和性能。许多用户都有一个校准计划来做到这一点。

3、密封

  密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。对于正压运转的炉子，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。这些阀门可能暴露于许多挥发性物质，它们往往聚集在这个阀门上，通过他们冷却排出炉体。

DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1450×1060×1960

③内容积：216L

④棚板层数/层间距：19层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 27A

⑩重量：约1100kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

------------- 在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。广东高温无氧烘箱高性能高效

特别重要的是高温充氮烘箱在使用中不会对内在物品质量伤害。安徽高温无氧烘箱产生故障

DNN430C/630C/460C/660C 厌氧高温气氛炉（YAMATO）

       氧浓度20ppm、MAX工作温度600℃的气氛炉，适用于无氧环境下的高温热处理。

特点：

       ● MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度低于20ppm，主要应用于电子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脱脂等。

       ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量低。

       ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

       ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

       ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

       ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

       ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。 安徽高温无氧烘箱产生故障