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常州樫山干式真空泵

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）： ① SDE...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

干式真空泵的主要特点都有哪些呢？常州樫山干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE303TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303TX
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

NEODRY 30E干式真空泵代理商浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series Roots多段式干泵		涡旋式泵
特征	○	・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化	△	・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。
维护性	○	・基本免维护	△	・需要定期的密封垫Ｏ／Ｈ（每年）（根据具体使用，有需要频繁更换的可能。）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・每年需要维护。・密封垫贵・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触，需要更换主要部件。
水蒸气排气能力	○	･水蒸气排气能力高。３５０ｇ/ｈr／２５０ｇ/ｈr （NeoDry36C／30Ｃ、15C）・气镇阀对到达压力性能的影响小。（有气镇阀时：２Pa以下）	△	･泵结构上不适合水蒸气排气。２５ｇ／ｄａｙ（１ｇ/ｈｒ）

樫山真空集中了经半导体，液晶行业等所研发的技术，针对一般工业应用

开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

Ⅱ，特征

ⅰ）采用多段ROOTS方式（抽气部分为非物理性接触构造），

不会因长时间的运行导致设备性能下降。

ⅱ）保养周期长，因需更换的零件少，可降低后期保养费用。

iii ) 通过选购气镇阀，使设备具有水汽排气性能。

买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和（上海）仪器有限公司。

ⅳ）采用空气冷却，不需要冷却水。

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200P/H
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.05KW
外型尺寸WHL [mm]	380×655×820
质量【kg】	185kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本浚和（上海）仪器有限公司KASHIYAMA干式真空泵现货促销中。无锡NEODRY 30E干式真空泵授权代理

一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗？常州樫山干式真空泵

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。此为立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。常州樫山干式真空泵

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