上海干式真空泵维修点「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。上海干式真空泵维修点

当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。北京NEODRY 60E干式真空泵浚和（上海）仪器有限公司提供日本樫山工业7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。

日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE1203X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	2.0KW
外型尺寸WHL [mm]	400×905×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE1203X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

日本KASHIYAMA SDE30M12TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE30M12TX
MAX排气速度（L/min）	45000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	500×960×1020

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE30M12TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和（上海）仪器有限公司。

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303X
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	1.5KW
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。干式真空泵的不同系列会有不同的优势。深圳MU100X干式真空泵中国授权代理商

干式真空泵的好处您了解吗？上海干式真空泵维修点

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。上海干式真空泵维修点

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