KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗?南京樫山干式真空泵授权代理

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型号 |
NeoDry7E |
NeoDry15E |
NeoDry30E |
NeoDry36E |
NeoDry60E |
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Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
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电源式样 注1) |
单相:200-240V/三相:200-240V |
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到达压力 |
5.0Pa |
1.0Pa |
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Zui大允许进气压力 |
大气压 |
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Zui大水蒸气处理量 注2) |
注3) 120g/h |
250g/h 注3) |
注3) 350 g/h |
注3) 600g/h |
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使用电动机 |
0.4 kW |
0.75kW |
1.5kW |
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进气口径 |
KF25(法兰接头) |
KF40(法兰接头) |
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排气口径 |
KF25(法兰接头) |
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概略重量 |
19kg |
23 kg |
25 kg |
54 kg |
56kg |
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噪音(dB(A)) |
≤56 |
≤58 |
≤60 |
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注1)如使用其他电源,请与我司联系。 注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。 注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 NEODRY 36E干式真空泵销售电话干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。 |
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日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE8060 |
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MAX排气速度(L/min) |
120000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1220×1600 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE8060主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
干式真空泵的优势您了解多少呢?

日本KASHIYAMA SDE804060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE804060 |
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MAX排气速度(L/min) |
190000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×1980×1850 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE804060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的主要特点是:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。深圳SDE1220干式真空泵代理商
干式真空泵的优点有很多。南京樫山干式真空泵授权代理
评价有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。 南京樫山干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMAMU180X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU180XMAX排气速度(L/min):3000达到压力(Pa):1.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.5KW外型尺寸WHL[mm]:280×299×550质量【kg】:95kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU180X主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,竭诚为您服务。河南安全干式真空泵...