湖南高温无氧烘箱规格参数

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-008洁净厌氧高温气氛炉。湖南高温无氧烘箱规格参数

气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似

       气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。 但是，由于要将受控气氛引入炉内，除了相应的附加装置如气氛发生装置，管道系统和滴灌系统外，还应满足炉子结构的某些特殊要求。

       1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成，活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成，密封用螺钉压紧：炉体密封部分采用密封填料，压紧法兰，油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门，它们交替地打开和关闭，以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮，倾斜块，螺栓，炉门倾斜3°。  7°重力压缩密封，或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。

       2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置，充电时留有间隙，并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

       3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象，可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件（低压和大电流电源）或辐射管加热元件，隔离气氛。

       4.设置前后腔室，淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后，泵送真空并重新填充保护气体，减少了大气消耗。

       5.配有安全防爆装置。 

湖南高温无氧烘箱加热功率固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

③内容积：91L

④棚板层数/层间距：12层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

⑩重量：约900kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

----------------

工业烤箱节能省电方法

1、工业烤箱采用适当的加热功率，任何系统都有一个热平衡问题，以适当的加热功率获取大的加热效果，

2、总加热功率越低越省电。显然如加热功率太低，加热时间延长，不但省不了电，反而增加生产时间，造成单位时间产晨低，增加其他成本。加热功率越大，加热越快，越省电。显然，加热功率太大，加热太快，局部温差大，损耗更大，也不省电。

3、根据不同的使用条件，工业烤箱采用不同的加热方式，以提高加热效率。

4、采用高效保温材料（比普通石棉提高60%的绝热材料），以减少能量损耗。

5、工业烤箱根据不同的烘烤过程，自动变换烘烤温度，可以节能。

6、适当的加热功率才是省电的。任何系统都有大值和小值问题，我们能根据客户的生产工艺条件设计不同类型的加热控制系统，保证大的电能使用效率才能省电。 高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类。

无氧化烘箱主要是起到保护的作用的

       无氧化烘箱等干燥设备都有保险丝之类的系统，是起到保护作用的，在使用过程中，若是真空烘箱的使用频率过高或者温度过高的话，保险丝起着保护电路的作用就会自己熔断，遇到过这样的问题，您只需将新的更换好就行。不是质量问题，在使用时要设定好温度，不要过高，建议在使用的量程之内，使用温度过高不仅会影响干燥箱的寿命，也会带来其他的麻烦。

       无氧化烘箱在真空泵前级加装了冷凝器，水蒸汽通过冷凝器后，一部分水蒸汽被冷凝成水的液体，剩下少部分水蒸汽被真空泵抽走。随着时间增加，如果抽取的水蒸汽过多，真空泵中的油在约30天左右会被卤化，用户可以根据使用情况按需要更换它。

     无氧化烘箱为整体隧道式结构。层流循环短时间灭菌方式，分为预热区、热风循环烘箱高温灭菌区和冷却区三部分。由机架、过滤器、加热装置、冷却装置、风机、传动装置、不锈钢传送网带及电气控制柜等部件组成。无氧化烘箱为**结构，被安装在离烘箱不远的墙边烘箱的上部有层流箱；中部有预热区、加温区、冷却区连接而成的箱体；无氧化烘箱的下部装有传动装置、排风装置和电气端子柜预热区由送风机、抽湿风机、手动调节风门、中效过滤器和过滤器等组成。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。河北高温无氧烘箱C1-008

YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。湖南高温无氧烘箱规格参数

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 湖南高温无氧烘箱规格参数