日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M09X |
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MAX排气速度(L/min) |
45000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
2.8KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE30M09X主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。上海MU100X干式真空泵现货

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型 号 项 目 |
SDE1203TX |
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注1)Max排气速度 |
20000 L/min |
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注1)极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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Max进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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Max排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.2kW |
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进气口(法兰) |
ISO100 |
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排气口(法兰) |
NW25 |
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润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
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容 量 |
11 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
Max供压 (计示压力) |
0.5MPa |
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Max小压力
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0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM 深圳樫山干式真空泵代理商干式真空泵批发就找浚和(上海)仪器有限公司。 |
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日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
2.0KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。

干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 浚和(上海)仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。SDE1220干式真空泵维修点 |
干式真空泵的优点有很多。上海MU100X干式真空泵现货
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日本KASHIYAMAMU180X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU180XMAX排气速度(L/min):3000达到压力(Pa):1.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.5KW外型尺寸WHL[mm]:280×299×550质量【kg】:95kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU180X主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,竭诚为您服务。河南安全干式真空泵...