NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE20M09X

MAX排气速度（L/min）：30000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

消费电力（KW）：2.6KW

外型尺寸WHL [mm]：460×960×900

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所的水蒸吸取气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。NEODRY 30E干式真空泵

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

东莞SDE1220干式真空泵现货干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。

       但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE20M20

MAX排气速度（L/min）：30000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：450×950×1000

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。

浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：MU600X

MAX排气速度（L/min）：10000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V

消费电力（KW）：0.6KW

外型尺寸WHL [mm]：230×520×530

质量【kg】：120kg

二、 配置清单：

设备原产地：日本 NEODRY 30E干式真空泵