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轮廓仪基本参数
  • 产地
  • 中国
  • 品牌
  • 超纳/SUBNANO
  • 型号
  • NanoX-2000/3000,NanoX-8000
  • 是否定制
轮廓仪企业商机

轮廓的角度处理:  

角度处理:两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理:两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理:圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理:直线度、凸度、LG凸度、对数曲线 。



白光轮廓仪的典型应用:

对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  


共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。自动测量轮廓仪质量怎么样

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    随着时代的发展,轮廓仪也越来重要了,不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测,***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化,并分别在X和Z方向上对其进行采样,并将其转换为电信号。电信号被放大和处理,然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓,分离表面并计算粗糙度分量,测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标,或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出,也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车,摩托车和制冷行业,它可以测量活塞,活塞销,齿轮的总线参数和汽车,摩托车和压缩机的阀门柱塞,可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中,内护套环的密封槽的形状(角度,倒角R,槽深,槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部,角度和对数曲线;电机轴,圆柱销,活塞销,滚针轴承,圆柱滚子轴承。Nano X-3000轮廓仪特点NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;准确度<1% ;重复性<0.1% (1σ,10um台阶高)。

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NanoX-系列产品PCB测量应用测试案例

测量种类

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

基板A Sold Mask粗糙度

基板A 绿油区域3D 形貌

基板A 绿油区域 Pad 粗糙度

基板A 绿油区域粗糙度

基板A 绿油区域 pad宽度

基板A Trace 3D形貌和尺寸

基板B 背面 Pad


NanoX-8000 系统主要性能

▪ 菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储

▪ 一键式系统校准

▪ 支持连接MES系统,数据可导入SPC

▪ 具备异常报警,急停等功能,报警信息可储存

▪ MTBF ≥ 1500 hrs

▪ 产能 : 45s/点 (移动 + 聚焦 + 测量)(扫描范围 50um)

➢ 具备 Global alignment & Unit alignment

➢ 自动聚焦范围 : ± 0.3mm

➢ XY运动速度 最快

NanoX-系列轮廓仪代 表性客户

• 集成电路相关产业

– 集成电路先进封装和材料:华天科技,通富微电子,江苏纳佩斯

半导体,华润安盛等

• MEMS相关产业

– 中科院苏州纳米所,中科电子46所,华东光电集成器件等

• 高 效太阳能电池相关产业

– 常州亿晶光电,台 湾速位科技、山东衡力新能源等

• 微电子、FPD、PCB等产业

– 三星电机、京东方、深圳夏瑞科技等  



具备 Global alignment & Unit alignment

自动聚焦范围 : ± 0.3mm

XY运动速度 最快


如果有什么问题,请联系我们。


测量模式:移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)。

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轮廓仪的培训

一、 培训承诺

    系统建成后,我公司将为业主提供为期1天的免费培训和技术资询;培训地点可以在我公司,亦或在工程现场;

    系统操作及管理人员的培训人数为10人,由业主指定,我公司将确保相关人员正确使用该系统;


1.1. 培训对象

    系统操作及管理人员(培训对象须具有专业技术的技术人员或实际值班操作人员);

    其他业主指定的相关人员。


1.2. 培训内容

    系统操作使用说明书。

    培训课程的主要内容是系统的操作、系统的相关参数设定和修改和系统的维修与保养与简单升级等,具体内容如下:

    * 系统文档解读;

    * 系统的技术特点、安装维护和系统管理方式;

    * 系统一般故障排除。





几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和集体,特征图形的位置和数量等)。轮廓仪轮廓仪免费样机试用

轮廓仪可用于:散热材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、医药新技术,微流控器件。自动测量轮廓仪质量怎么样

NanoX-2000/3000

系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光

垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上,以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗

糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。


使用范围广: 兼容多种测量和观察需求  

保护性: 非接触式光学轮廓仪

耐用性更强, 使用无损 

可操作性:一键式操作,操作更简单,更方便  

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岱美仪器技术服务(上海)有限公司拥有磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 等多项业务,主营业务涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。公司以诚信为本,业务领域涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。一直以来公司坚持以客户为中心、半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。

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