工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。 设备适用于产品或材料及电气、仪表、电子、电工及汽车、航空在恒温条件下作干燥和各种恒温适应性试验。南京哪里有工业烤箱

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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

氮气监控系统:

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。

1.4 、湿度控制:

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。

1.5、温湿度记录功能:

2.5.1内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

1.6、湿度警报系统:

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。 宿迁哪里有工业烤箱合肥真萍科技简述工业烤箱规范标准。

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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。

产品描述:真空干燥箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。

特点:

1、长方体工作室,增加有效容积,微电脑温度控制器,精确控温。

2、双层玻璃视窗观察工作室内物体,一目了然。

3、箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。

5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行,所以不会氧化。

真空程序分段控制

该型号机型,抽真空过程可提供程序化编程,根据客户要求编辑设定真空值,保压时间值。可实现多段抽真空和保压编程。 合肥真萍科技为您提供工业烤箱的详细介绍。

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HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:

1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;

2. 载物托架:2块

3.室温+10℃-250℃   控温范围:温度分辨率:0.1℃   温度波动度:±0.5℃

4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,

5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)

6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。

7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。 工业烤箱的制作方法难吗?合肥真萍科技告诉您。工业烤箱报价

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下面为大家介绍一下真空干燥箱。它是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。

特点:

1、长方体工作室,增加有效容积,微电脑温度控制器,精确控温。

2、双层玻璃视窗观察工作室内物体,一目了然。

3、箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。

5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行,所以不会氧化。

真空程序分段控制

该型号机型,抽真空过程可提供程序化编程,根据客户要求编辑设定真空值,保压时间值。可实现多段抽真空和保压编程。

操作步骤

1,接通电源

2,产品送入腔体,关门

3,打开电源

4,工作温度设定好,启动加热,设备进入自动恒温状态

5,真空值和时间设定好后,启动真空泵,开始进入自动抽真空阶段

6,到达时间值后,真空泵自动关闭 南京哪里有工业烤箱

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