干式真空泵与油泵的性能比较
项 目
NeoDry Series
干式真空泵
油 泵
特 征
○
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。
△
・使用油密封得不到干净的真空。
・排气时会在排气口产生油雾。
・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。
・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性
○
・基本上免维护
△
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。
(根据使用情况,需要频繁更换)
维护成本
○
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。
・更换部件很少,O / H费用便宜。
・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。
△
・油需定期更换产生费用。
(使用氟油的情况费用较高)
・需要更换叶片及阀门。
(因叶片为接触式)
初始投资成本
△
・与油泵相比相对较高。
○
・与干泵相比较便宜。
配套设备费用
○
・不需要油雾凝气阀
△
・需要油雾凝气阀。
・需要油盘。
4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.上海樫山干式真空泵授权代理

评价爆裂有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝爆裂!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。南京NEODRY 36E干式真空泵报价干式真空泵的系列有很多种。

干式真空泵的种类特征
螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU1200P/H
MAX排气速度(L/min):20000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):1.05KW
外型尺寸WHL [mm]:380×655×820
质量【kg】:185kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
浚和(上海)仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。上海樫山干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司提供日本樫山工业7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。上海樫山干式真空泵授权代理
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螺杆干式真空泵特征:①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。②操作维护方便。③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。浚和(上海)仪器科技有限公司是一家专业提供干式真空泵 的公司,有想法的不要错过哦!河南药品干式真空泵售后评价爆裂有两个指标:可燃物质的闪点及燃点 。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有...