LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。
面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。
传感器的位置:
传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支承面刚度:
支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。干涉测量隔振台价格怎么样
AVI
400-XL
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-800公斤
(单个): 400公斤 TS-140/LP隔振台电子显微镜ATM传感器可以移动到任何所需位置。
Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境,以发挥仪器的极大效能,达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变,由高层次的研究波及各个行业的基本生产,要有效地发展纳米技术,消除振动尤为重要!
在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商,并在此领域积累了丰富的经验。与此同时,测量技术有了很大的进步,一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰,只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此,HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。
TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。***隔振装置隔振台联系电话
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。干涉测量隔振台价格怎么样
AVI-600 / LP的每个单元均可调节,以适应0至600kg的负载。 对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载,可在+/- 90kg之间变化,而不必重设调整。
***操作系统时,请将前面板隔离开关设置为OFF(黑色旋出)。 接通电源。 电源指示灯现在将点亮,并且24个显示LED将短暂闪烁。 黄色的使能LED将以大约2 Hz的频率闪烁。 如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上,则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后,您可以将隔离开关推到ON位置(红色旋钮进入)。黄色LED现在将长久保持亮起,表明系统处于隔离。
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司致力于仪器仪表,以科技创新实现***管理的追求。公司自创立以来,投身于半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,是仪器仪表的主力军。岱美中国继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。岱美中国始终关注仪器仪表行业。满足市场需求,提高产品价值,是我们前行的力量。