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Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 ***使用AVI系统时，将前面板隔离开关设置为关闭（黑色旋钮熄灭）。光刻机隔振台优惠价格

TS-150

TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

频率：0,7-1000 Hz

负载范围：0-150公斤

尺寸 ：400 x 450 x 78.5 毫米

TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。

TS-150的高度*为78.5毫米

TS-150的重量*为17.5千克 干涉测量隔振台电子显微镜SEMLFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。

技术指标：

频率：1.2-300赫兹

负载范围：0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米（长x宽x高）

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离：动态1.2Hz至300Hz，主要在较高频率下为无源

透射率：

高于〜10 Hz的透射率<0.01（-40 dB）

矫正力：垂直±8N，水平±4N

静态合规性：27 µm / N

比较大负载（中心负载）：40公斤88.18磅

重量：9.2公斤20.3磅

AVI单元和传感器的方向

隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要取向！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。

为确保连接正确，请按照下列步骤操作：

面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。

所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。

该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。

传感器位置

传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支撑面的刚性

支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。

运作方式

设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。

请注意，如果未启用LFS，则它将无效。

敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。光刻机隔振台优惠价格

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。 光刻机隔振台优惠价格

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