***使用AVI系统时，将前面板隔离开关设置为关闭（黑色旋钮熄灭）。打开电源。电源指示灯现在将点亮，16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上，部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后，您可以将隔离开关推到打开位置（黑色旋钮进入）。黄色LED现在将一直亮起，表示系统正在隔离。
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。 Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。掩模对准隔振台质量怎么样
技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离：动态（超过1kHz）
透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）
矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超载：显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸：500x600毫米。 晶圆片隔振台供应商家传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。
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·AVI系列振动传递率
横坐标为频率，纵坐标为传递率的数据，在10hz频率以上时，传递率的数据小于0.02，很好地起到了隔振作用。
AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据（实验室实验数据）
垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
Table Stable Ltd：主动隔振以及高 分辨率，高对比度光谱学的全球***。
该系统的固有刚度比1
Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。
所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。 TS-140的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db。联电隔振台保修期多久
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。掩模对准隔振台质量怎么样
地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）
加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢！ 掩模对准隔振台质量怎么样岱美仪器技术服务（上海）有限公司拥有磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 等多项业务，主营业务涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。一批专业的技术团队，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。公司以诚信为本，业务领域涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪，我们本着对客户负责，对员工负责，更是对公司发展负责的态度，争取做到让每位客户满意。公司力求给客户提供全数良好服务，我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情，将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展，已成为半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪行业出名企业。
