支撑面测试
在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统,以便该系统可以在任何方向上用作振动器。高精密仪器隔振台测样
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备:
扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,
医疗检测设备等 晶圆片隔振台有谁在用LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。
桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好,但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置,将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置,但这并非***必要。但是,必须特别注意桌面的正确连接,如下所述。注意,也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下,刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
(2)不同负载下的振动传递率:
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。 在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ,并在此领域积累了丰富的经验。
***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后,您可以将隔离开关推到打开位置(黑色旋钮进入)。黄色LED现在将一直亮起,表示系统正在隔离。
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。重庆中芯国际隔振台
主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。高精密仪器隔振台测样
AVI400-S
AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:
频率: 1,2-200 Hz
负载范围: 0-800公斤
(单个): 400公斤 高精密仪器隔振台测样
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