该系统的固有刚度比1
Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。
所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。 TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db。半导体设备隔振台出厂价
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz后迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*为28.5千克 四川隔振台技术支持TS-C系列具有通用输入,可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。
将传感器连接到AVI /系统?
传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。
每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。
TS-140+40技术指标:
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离:
动态0.7Hz至1kHz无源(超过1kHz)
传递率:
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)
矫正力:垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性:垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载:50-180公斤
尺寸:500 x 600 x
84毫米
重量:28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。四川隔振台技术支持
Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。半导体设备隔振台出厂价
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、
·AVI系列振动传递率
横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。
AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)
垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
半导体设备隔振台出厂价
岱美仪器技术服务(上海)有限公司发展规模团队不断壮大,现有一支专业技术团队,各种专业设备齐全。致力于创造***的产品与服务,以诚信、敬业、进取为宗旨,以建EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB产品为目标,努力打造成为同行业中具有影响力的企业。公司坚持以客户为中心、磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。诚实、守信是对企业的经营要求,也是我们做人的基本准则。公司致力于打造***的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。