1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 Table Stable通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。半导体隔振台可以免税吗
支撑面测试
在系统运行时，推动支撑表面。 灯不亮，除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
福建碳化硅隔振台TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。
TS特点：
◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用
TS-140+40技术指标：
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离：
动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）
传递率：
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）
矫正力：垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性：垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载：50-180公斤
尺寸：500 x 600 x
84毫米
重量：28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
TS-C系列具有通用输入，可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。
该系统的固有刚度比1
Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。
所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。 AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。福建碳化硅隔振台
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。半导体隔振台可以免税吗
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz后迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*为28.5千克 半导体隔振台可以免税吗
岱美仪器技术服务（上海）有限公司拥有磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 等多项业务，主营业务涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。公司目前拥有较多的高技术人才，以不断增强企业重点竞争力，加快企业技术创新，实现稳健生产经营。公司以诚信为本，业务领域涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪，我们本着对客户负责，对员工负责，更是对公司发展负责的态度，争取做到让每位客户满意。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了良好的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪形象，赢得了社会各界的信任和认可。
