AVI-400系列（负载：**多800kg）
型号：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP
系统形状：控制器与防振单元分离型
主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态
尺寸：190×396×190×720×220×856×
控制器尺寸：241×287×142毫米
承重*800kg
单位重量：约13kg；约19公斤，联络我们
电源电压：95-240VAC，50-60赫兹
耗电量：通常为18W
工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）
可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 TS-140的高度*为84毫米。光刻机隔振台有谁在用
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。被动隔振频率隔振台干扰仪防震台应用使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。
TS-140+40技术指标：
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离：
动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）
传递率：
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）
矫正力：垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性：垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载：50-180公斤
尺寸：500 x 600 x
84毫米
重量：28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
AVI
400-XL
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1.2-200 Hz
负载范围： 0-800公斤
（单个）： 400公斤 控制中心有超载指示灯。
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
（2）不同负载下的振动传递率：
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。 实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。轮廓测量隔振台值得买
LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。光刻机隔振台有谁在用
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备：
扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，
医疗检测设备等 光刻机隔振台有谁在用
