AVI 200-M
AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-400公斤
（单个）： 200公斤
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。光刻机隔振台质保期多久
1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。 轮廓测量隔振台售后服务TS-C系列具有通用输入，可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。
TS-150安全守则
只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。
在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。
请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。
请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。
卸下任何主机盖之前，请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。
请勿在有危险的环境中使用。
请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。
如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。
输入电压：115/230V
AC，50-60Hz 功耗：比较大20瓦
频率范围：0.2-20Hz 尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）
电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高） 重量传感器：5.9kg
供电重量：1.6kg 应用：室内
防护等级：IP 20 温度范围 ：5°C-40°C
相对湿度：10–90%（5–30°C）
Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。被动隔振台优惠价格
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。光刻机隔振台质保期多久
Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！
在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 光刻机隔振台质保期多久
