LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中,以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离(可传输性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量,增益设置为128(V)和150(H)。
输入电压:115/230V
AC,50-60Hz 功耗:比较大20瓦
频率范围:0.2-20Hz 尺寸传感器:255x245x107mm(长x宽x高)
电源尺寸:265x155x73mm(长x宽x高) 重量传感器:5.9kg
供电重量:1.6kg 应用:室内
防护等级:IP 20 温度范围 :5°C-40°C
相对湿度:10–90%(5–30°C)
Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。台积电隔振台原理

传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座(诊断插座)连接到传感器
设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。
按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。 山东中芯国际隔振台安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

AVI主动隔振台
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
AVI 产品特点:
· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
· 安装好后参数不需要调整。
· 从低频率起提高一个隔振环境。
·控制中心有超载指示灯。
Cu(100)-O表面低温AFM图像
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。
技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离:动态(超过1kHz)
透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)
矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
电的安全等级:1个能量消耗:比较大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超载:显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸:500x600毫米。 测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。
该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。
LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。
系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。
LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器。 LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。台积电隔振台原理
TS-140的高度*为84毫米。台积电隔振台原理
TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 台积电隔振台原理