常用的无氢DLC涂层制备方法：1、电弧离子镀。电弧离子镀是由Mattox于1964年首先公开了所发明的技术。它是在蒸发镀膜的同时，用来源于等离子体的离子轰击膜层。在上世纪70年代诸多电弧离子镀技术相继实用化，主要用于制备刀具涂层。电弧离子镀技术属于冷场致弧光放电，制备过程如下：工件经清洗入炉后抽真空。当真空度达到6X10-3Pa后，开启烘烤加热电源，对工件进行加热。达到一定温度后，通入氨气，真空度降至（3～5）×10-1Pa。接通工件偏压电源，电压调至100~200V。此时产生辉光放电，从阴极弧源表面发射出碳原子和石墨原子。在工件负偏压的作用下，沉积到工件形成DLC底层，以提高类金刚石涂层的附着力。2、离子辅助沉积。离子辅助沉积技术英文缩写IAD，是一种真空蒸发为基础的辅助沉积方法。是借助少量高能离子及大量高能中子的连续作用，将金属或金属化合物蒸气沉积在工件的一种表面处理过程。真空蒸发镀膜过程中沉积的原子或者分子在基体表面的有限迁移率形成柱状的薄膜结构，所以在沉积的过程中对生长的薄膜利用离子源轰击，将离子的动量传给沉积的原子或分子，使沉积的分子或者原子的迁移率得到提高。对于活塞和连杆，可通过使用带 DLC 涂层的活塞销省去轴套。汕头DLC加工DLC涂层
DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能，并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。DLC薄膜通常是非晶的（即没有占主导地位的晶格结构），由sp2（石墨）和sp3（金刚石）相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间，而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。珠海加硬耐磨DLC涂层技术dlc涂层有着摩擦系数低和高显微硬度的特点,因而被普遍应用于摩擦学以及磨损应用中。
涂层刀具的优越性在韧性较好的刀片基体上进行表面涂层，涂覆具有高硬度、高耐磨性、耐高温材料的薄层(如TiN、TiC等)，使刀片具有全i面、良好的综合性能。未涂层高速钢的硬度只为62~68HRC(760~960HV)，硬质合金的硬度只为89~93.5HRA(1300~1850HV);而涂层后的表面硬度可达2000~3000HV以上。1.由于表面涂层材料具有很高的硬度和耐磨性，且耐高温。故与未涂层的刀片相比，涂层刀具允许采用较高的切削速度，从而提高了切削加工效率;或能在相同的切削速度下，提高刀具寿命。2.由于涂层材料与被加工材料之间的摩擦系数较小，故涂层刀片的切削力小于未涂层刀片。3.用涂层刀片加工，零件的已加工表面质量较好。4.由于涂层刀片的综合性能良好，故涂层硬质合金刀片有较好的通用性，一种涂层硬质合金i牌号的刀片具有较宽的使用范围
dlc涂层应用广。dlc涂层拥有多种多样的特性,这也为有着功能明确的多功能表面的新产品的开发创造了条件。dlc涂层优良的涂层性能使其得以实现产业化生产并得到很广的应用,这些发展激发了很多科研院所和公司投资进一步的研究并带动了整个产业向将来迈进了一步。dlc涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数,并且具有极强地不与金属材料粘结的性能。因此,这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。dlc涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初,和普通的应用于刀具/模具上的硬质涂层(如TiN,TiAIN,CrN,TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。DLC涂层上世纪70年代被命名为类金刚石薄膜。
dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜比较好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低，广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N[12]，制备的膜导总体厚度可达5um。DLC涂层目前可以通过很多种技术获得，但市面上常用的方法分别是磁控溅射、离子束和电弧技术。江门加硬耐磨DLC涂层应用
简述DLC类金刚石涂层性能应用大致情况。汕头DLC加工DLC涂层
制备较厚无氢DLC涂层的方法:生产无氢DLC涂层的技术还有待发展，生产超过5微米技术已经比较少见，原因是由于金刚石涂层的硬度高，与基底的结合力问题不好解决，另外沉积过程中金刚石涂层本身的内应力也非常大，所以无氢DLC涂层工艺的难度很高。从生产设备的角度来看，如果需要沉积厚度超过50微米的涂层，涂层本身沉积速率比较低的情况下，需要很长的沉积时间，所以弧源的设计和供气方式都有很高的设计要求。德国研究所设计了一种石墨柱弧的弧源，利用高能量的激光系统，轰击石墨柱弧的表面，在没有离子源辅助沉积的情况下，生产出了厚度超过50微米的纯碳无氢DLC涂层，主要应用在汽车零部件方面，高性能汽车的曲轴、活塞、活塞环、气门顶杆等。该制备方法需要长期在复杂的摩擦条件下可靠工作，需要很高的耐磨和润滑性能，但质量优异，在超过30年的时间里可以免维护。汕头DLC加工DLC涂层
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