扩散真空泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。当泵入口压强很低时,气体从前级通过射流的反扩散会增加,同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时,大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰减较大,增大了前级的反流,抽速降低;油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关,当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时,泵的入口压强不受出口压强的影响,气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。油扩散泵的较大出口压强取决于一级喷嘴的工作状态,与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及一级喷嘴的结构有关。折叠液环泵属于粗真空泵的一种类型。微型真空泵定制厂家
日东工器省力机器贸易(上海)有限公司小编介绍,由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空高级压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此,机组可以具有很高的抽气效率。微型真空泵定制厂家真空泵达到一定临界压力时,往往抽速会减小。
水环真空泵在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。
水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵开始用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到普遍的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。液环泵属于粗真空泵,在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域有着很大的市场。微型真空泵定制厂家
水环真空泵以叶轮的上部0°为起点,叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大。微型真空泵定制厂家
真空泵的传动方式,真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的较大缺点是,主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便。微型真空泵定制厂家
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