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罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。水环真空泵是一种粗真空泵。手动真空泵现价

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专门用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。"排气口允许较大阻力Por值"这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。手动真空泵现价水环真空泵串联大气喷射器可达270~670Pa。

判定真空泵中被抽物体的成分，被抽物体是气体、液体还是颗粒，如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性，PH值是多少?)，若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体，应过滤或中和处理才能选旋片式真空泵。被抽物体是否对橡胶或者油品有污染?针对不同的被抽介质要选用相应的真空设备，如果气体中含有大量蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装相应的辅助设备，如冷凝器，过滤器等(具体联系我们相应技术工程人员)。真空泵的噪音，振动，美观的对工厂是否有影响。俗话说，便宜没好货。购买真空泵和真空设备时，还应优先考虑设备的质量、运输及其维修和保养费用等。

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨真空泵分为常规罗茨泵及气冷直排大气罗茨泵，常规罗茨泵承受的压差小大约为3000~6000Pa，所以常规罗茨泵必须带前级泵预抽，不能直接排大气。气冷罗茨泵因为增加了热量平衡装置可以直接排大气，气冷罗茨真空泵的极限压力为13000Pa。罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵。水喷射真空泵机组制造商

一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修。手动真空泵现价

喷嘴是影响真空泵性能的重要部件，存在的问题有：喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏，不管采取何种预防措施，喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时，管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴；另一方面，真空泵系统停用时，蒸汽管道易生锈，锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。蒸汽的影响：我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵，是以过饱满水蒸汽为作业介质的，蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能，还会腐蚀蒸汽喷嘴，添加泵的蒸汽用量，使泵的作业状况变得不稳定。手动真空泵现价

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