苏州多孔陶瓷吸盘厂家

在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆，此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态，易被吸附进多孔吸盘的孔洞内，而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化，受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内，金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化，合金化金属结合力会增强，从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在，合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。陶瓷真空吸盘是一种利用纳米粉体生产出来的均匀的实心或者真空体。苏州多孔陶瓷吸盘厂家

反冲洗效果好坏直接决定陶瓷吸盘寿命长短，反冲洗介质是水和压缩空气的混合流体，要求水源压力不低于0.3 MPa，气源压力不低于0.4 MPa，冲洗时汽水混合罐处的压力不低于0.25 MPa；水质良好，含杂质粒度小于20 um。对于不能满足要求的水源，需要加装过滤装置。该公司共加装2级过滤器，第1级滤网孔径50 um，第2级滤网孔径10 um。在第1级滤网前和第⒉级滤网后均设置压力表，以观测滤网堵塞情况。当过滤装置前后压差过大且不能满足反冲洗用水要求时，需要清理过滤器滤网，以保证反冲洗效果。反冲洗效果变差，将造成陶瓷吸盘毛细孔被浆液堵塞，加速陶瓷吸盘的失效。广州碳化硅多孔陶瓷吸盘供应公司陶瓷吸盘具有优异的材料性能，电阻值可以达到105~109Ω/sq。

传统的陶瓷吸盘都是一体式结构，直接安装在工作台上。在晶片磨削过程中，往往伴随着大量颗粒和污水，并且会进入吸盘和工作台之间，造成精度误差；在晶圆抛光和清洗过程中，抛光液和水雾进入工作台，还会引起设备的腐蚀生锈；在晶片的加工中，由于碎片导致工作台堵塞会影响设备运转，极大地降低了生产效率。然而，当发生以上设备常见问题时，传统的一体式真空吸盘，拆卸清理维修时又必须将整个吸盘，以及连接在吸盘上的各种真空接头，管路一起拆卸，极为不便。并且由于一体式的结构，防水布置困难，易发生工作台系统腐蚀生锈，也难以局部更换。

陶瓷吸盘是圆盘脱水机的主要部件，决定着石膏生产效率.通过对陶瓷吸盘的研究，形成一套延长陶瓷吸盘寿命的经验总结。通过对陶瓷吸盘标注进行陶瓷吸盘定位，加强反冲洗，联合清洗，调整旋转频率等措施，延长了陶瓷吸盘寿命，从而提高了石膏的产量并降低了维护费用。陶瓷吸盘从上到下依次包括吸盘本体，吸盘真空吸附层和吸盘冷却水层，制造方法包括如下步骤：(1)将碳化硅造粒粉体等静压成型获得吸盘本体素坯，吸盘真空吸附层素坯和吸盘冷却水层素坯；(2)根据吸盘尺寸对三种素坯进行加工；(3)对三种素坯进行高温烧结。陶瓷吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台。

陶瓷真空吸盘特性：陶瓷区域内吸附：同一陶瓷面积上，可放置大小不等的工件做吸附功能。高耐热性：因是高温烧结而成的物质，本身具有耐高温的特性。耐化学腐蚀性：惰性材料，对酸碱等反学反应弱。耐磨损性：具有陶瓷坚硬的特性，耐损耗，可长期使用。轻量：内部结构均匀气孔，比重系数为1.6-2.8。绝缘性能高：绝缘材质，消散静电特性。无粉尘：完全烧结，无粉尘。应用领域： 吸取平面工件专属陶瓷真空吸盘模组；吸附达一半面积就不会破真空状况，达到同一模组可吸取各式工件；适用于机台制作或工厂生产、组装或自动化企业的干净环保。陶瓷吸盘的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。广州碳化硅多孔陶瓷吸盘供应公司

想要加工陶瓷吸盘，就要了解氧化铝陶瓷的性质。苏州多孔陶瓷吸盘厂家

陶瓷吸盘的优点：防止吸收轨迹：毛孔的均匀分布(孔隙度为40%左右)和微小的孔径大小，使物体上的吸收孔径没有痕迹，这是不可避免的与现有的铝真空夹头。因此，多孔陶瓷真空夹头是薄膜工艺的好选择。均匀吸收：毛孔均匀地分布在夹头的整个表面上，使物体的整个部分能够以相等的压力被吸收。尤其对扭曲膜的吸收非常有利。抗静电：由于静电的突出传播特点，静电得到有效消除。多孔陶瓷产品保持其表面电阻10×6±10×9 ×cm2，具有逐渐消除制造过程中物体所承担的静电的效果。防止划痕：出色的表面粗糙度使物体上没有划痕。毛孔的均匀分布和加工技术使产品表面如此光滑，可防止薄膜、玻璃等物体表面出现划痕。苏州多孔陶瓷吸盘厂家

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