加工陶瓷吸盘要注意什么?陶瓷吸盘因为其硬度高、耐磨、耐腐蚀等诸多优良特性,在各领域中得到了普遍使用。随着技术发展,各种新型特种陶瓷也渐渐进入大家的视野,现在特种陶瓷已成为良好的结构材料和功能材料。它们具有比传统陶瓷更高的耐温性能,力学性能,特殊的电性能和优异的耐化学性能。而陶瓷吸盘其本身材料就是特种陶瓷之一——氧化锆陶瓷。氧化锆陶瓷是一种新型高技术陶瓷,除了有强度高的、硬度、耐高温、耐酸碱腐蚀及高化学稳定性等性质,同时还具有抗刮耐磨、散热性能优良等特点,这一系列的特点,导致其在加工过程中难度直线上升。氧化锆陶瓷的硬度可以说是只次于金刚石,所以不能用加工普通金属的方法去加工氧化锆陶瓷。陶瓷吸盘主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅,氮化钛陶瓷。上海真空陶瓷吸盘现价
陶瓷吸盘对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷,需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等,且压力大,因此成型后的坯体密度高,均匀性好,烧成收缩小,不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层,特别是成型较厚的氧化锆制品,干压时极易出现分层,而等静压成型则可避免,因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工,因此会浪费一部分原料,同时由于坯体很硬,加工比较麻烦,且加工速度要求缓慢,否则坯体易发生断裂,生产效率不高。东莞晶圆陶瓷吸盘费用陶瓷吸盘的主要特点:孔径分布均匀,组织致密均匀,颗粒粗细均匀。
在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。
陶瓷吸盘的应用原理:通过施加正压和负压气体吸收或漂浮工件,工件包括晶圆,玻璃,PET薄膜或其他薄物体,将负真空压力的气流设定为进入陶瓷,工件可吸附,将正真空压力的气流设置为从陶瓷中流出,该部分可以吹起或不接触陶瓷。陶瓷真空吸盘的吸附性能,因孔直径而异,对于超微孔陶瓷和极微孔,孔径是分子直径的几倍,在吸附时,孔壁包围吸附分子,孔内范德华力非常强;对于中孔和大孔,孔径比吸附分子直径大10倍以上,发生典型的毛细管凝聚。根据孔的形状,有时还会出现吸附滞后等一系列现象。陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的。
陶瓷真空吸盘是一种利用纳米粉体生产出来的均匀的实心或者真空体,通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料,常见的材质有Al2O3或碳化硅,常应用于半导体电子器件领域。在应用场合中,它能通过真空吸力将半导体片、玻璃基板材料等工作物固定住。相对于传统吸盘对于工件单一化规格吸附的特性来说,陶瓷真空吸盘的区域性吸附功能,更有助于提升产线流畅度及其效能,还可以避免传统吸盘对工件(尤其是薄膜材料)的刮伤和吸痕。除了用于吸附工件外,陶瓷真空吸盘还可以在传输型气浮模组中使用,就算是大片的玻璃基板等工件,也能让它们在输送与移载过程中不直接与平台接触到,避免污染物附着、应力、静电及损伤玻璃基板的情形发生。而且多孔性材质可大幅降低气体流量,还能达到气垫层气压均匀,能保持一定漂浮高度的效果。陶瓷吸盘具有逐渐消除制造过程中物体所承担的静电的效果。上海真空陶瓷吸盘现价
陶瓷吸盘是耐高温的。上海真空陶瓷吸盘现价
陶瓷吸盘能够用于:热(高温)气体过滤。高温除尘技术是能源利用和环境保护领域达到能源高效利用及低污染排放的一项主要技术。高温气体干法除尘技术要求直接在高温条件下实现气体的干法除尘和净化,以比较大程度地利用气体的物理显热,提高能源利用率,在实现气体洁净排放的同时节约水资源,并避免湿法除尘所带来的二次水污染。干法除尘技术概况:根据除尘机理,高温气体干法除尘技术大致可分为惯性除尘、静电除尘及过滤式除尘。惯性除尘器耐高温,但除尘效率较低;静电除尘器虽适用于高温气体除尘,但电极寿命短,材料稳定性差,除尘效率受粉尘的比电阻影响大;普通纤维袋式过滤除尘器尽管除尘效率高,但耐高温性较差。上海真空陶瓷吸盘现价
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