探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命。手动探针台供应
探针台是检测芯片的重要设备,在芯片的设计验证阶段,主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标,在检测过程中会对芯片样品逐一检查,只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。半导体行业向来有“一代设备,一代工艺,一代产品”的说法。半导体设备价值普遍较高,一条先进半导体生产线投资中,设备价值约占总投资规模的75%以上。随着全球半导体行业市场规模不断扩大,半导体设备市场也呈增长趋势。根据SEMI统计,全球半导体设备销售额从2013年的318亿美元增长至2018年的645亿美元,年复合增长率约为15.2%,但受到半导体行业景气度下滑及宏观经济环境影响,2019年、2020年一季度增长有所下降,但预计疫病过后,将恢复增长。手动探针台供应探针卡焊完后使针尖刚好回到压点中心,同时针焊好后应检查针尖的位置,检查针的牢固性。
近年来,半导体作为信息产业的基石和兵家必争之地成为本轮贸易战的焦点。2019年,中美摩擦、日韩半导体材料争端对全球半导体产业竞争格局也带来了较大的影响。在自主可控发展策略指导下、在资本与相关配套政策扶植下,中国大陆正在也必将成为全球半导体产业扩张宝地,未来几年半导体产能扩充仍将有较大需求。2019年国内半导体设备投资约为923.51亿元,国内半导体检测设备市场规模约为67.43亿元。在疫病结束后国内半导体投资将反弹及恢复增长,检测设备市场规模也将随之增长,预计2022年将达到103.22亿元。
探针台由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等,用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽,线槽间的距离即称为平面电机的齿距,而定子则按不同的细分控制方式,按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命,损坏严重将造成设备无法使用而报废。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,表面电阻率探针台。
探针测试台x-y工作台的分类:纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。手动探针台供应
探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一。手动探针台供应
“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。手动探针台供应