半导体设备的技术壁垒高。随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用光学、物理、化学等科学技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。半导体器件生产中,从半导体单晶片到制成成品,须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠,并有高的成品率,根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而,在生产过程中必须建立相应的系统和精确的监控措施,首先要从半导体工艺检测着手。上海勤确科技有限公司本上海勤确科技有限公司经营理念,将心比心,诚信经营,质量为先。浙江智能探针台厂家
相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性。浙江智能探针台厂家随着探针开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层,接触电阻减小而电流流动迅速开始。
初TI退休工程师杰克·基比(JackSt.ClairKilby)发明颗单石集成电路,为现代半导体领域奠定基础时,晶圆直径不过1.25英寸~2英寸之间,生产过程多以人工方式进行。随着6英寸、8英寸晶圆的诞生,Align/Load的校准工作和一些进阶检测也开始自动化;直到12英寸晶圆成形,可谓正式迈入“单键探测”(OneButtonProbing)的全部自动化时代,就连传输也开始借助机器辅助;但此时的测试大都是转包给专业的厂商做,且大部分是着重在如何缩短工艺开发循环的参数测试上。
随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备,在整个半导体产业的多个环节起着重要作用,是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展,市场对自动化探针台需求旺盛。自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。探针台的维护与保养就显得尤为重要。
高精度探针台:目前世界出货量的型号吸收了很新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS-近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。上海勤确科技有限公司以完善的服务和改变为至上追求。云南探针台厂家
纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异。浙江智能探针台厂家
探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15~25℃,相对湿度小于50%的环境中,其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃,气压为0.4±0.04MPa。相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。浙江智能探针台厂家