探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。陕西高温探针台一般多少钱
随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备,在整个半导体产业的多个环节起着重要作用,是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展,市场对自动化探针台需求旺盛。自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。辽宁温控探针台加工厂家测试信号的完整性需要高质量的探针接触,这与接触电阻(CRes)直接相关。
为什么要射频探测?由于器件小形化及高频谱的应用,电路尺寸不断缩小,类似微带线及PCB版本Pad的测试没有物理接口,使得仪表本身无法与待测物进行直接连接,如果人为的焊接射频接口难免会引入不确定的误差,所以射频探针的使用完美的解决了这个问题。射频探头和校准基板允许工程师进行精确、重复的测量与校准。且任何受过一定训练的工程师都可以进行探针台的架设与仪表的校准,以分钟为单位进行测量。同样一个Pad测试点,如果通过探针测量与通过焊接SMA接口引出测量线的方法进行测试对比会发现,探针的精度是高于焊接Cable的精度。
如果需要一款高量测精度的探针台,并不是有些厂商单纯的认为,通过简单的机械加工加上一台显微镜就可以完成,我们在探针台设备的研发中有着近二十年的经验,并有着精细机械加工的技术能力,可以为您提供高准确的探针台电学检测仪器,同时我们与世界电学信号测试厂家有着多年的合作,可以提供各类电学测试解决方案。在对射频设备进行原型设计和测试时,很多情况下,在电路的非端口位置进行测试有助于优化设计或者故障排除。然而实际操作中,在较高的频率下进行测试是一项更大的挑战。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。
半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafersort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(FinalTest):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/Opads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。探针尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。陕西高温探针台一般多少钱
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下面我们来简单讲讲选择探针台设备时需要注意事项:一、机械加工精度;二、电学量测精度三、环境要求,如:真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像;五、自动化控制精度。总体而言,具有清晰并高景深的微观成像,再通过准确的探针装置对探针进行多方向移动,对准量测点,进行信号加载,通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表,以达到所需得到的分析数据,所以,如果想得到高质量的分析数据,从成像到点针,再到数据传输每项步骤都会起到重要的作用,另外振动对精度也有一定的影响。陕西高温探针台一般多少钱