浙江硅光电硅光电二极管特性

    世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。高反层109由高折射率薄膜与低折射率薄膜交替叠加组成；2)利用等离子刻蚀机在高反层109上以干法刻蚀开设刻蚀孔，并刻蚀掉与正面金属电极106相对的高反层109；3)刻蚀完成后，在高反层109上以化学气相淀积的方法生长电阻率500～1000ohm·cm的n-外延层，其厚度与耗尽区宽度相当；4)在外延层101上以as离子源进行n型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成保护环102。与保护环102间距12～20um，在外延层101上以b离子源进行p型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成有源区103；5)在保护环102和有源区103上通过热氧化法生成sio2层104，在sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻穿si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al，并将溅射层刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107背面直接进行金属化处理形成背面电极108。下面给出具体的实施例。实施例11)在n+重掺杂的衬底107上溅射生成厚度3～5um的高反层109，2)利用等离子刻蚀机干法刻蚀工艺在高反层109刻孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长n-外延层101。pin硅光电二极管 选深圳世华高。浙江硅光电硅光电二极管特性

    以p型离子注入形成有源区；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层；所述的正面金属电极是在溅射后经刻蚀成形。所述外延层的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入为入射光入射深度，λ为入射光波长。一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法，包括以下操作：1)在衬底上溅射生成高反层；2)高反层开设刻蚀孔；3)高反层上通过淀积的方法生长外延层；4)在外延层上通过离子注入分别形成保护环和有源区；5)在保护环和有源区上生成sio2层，然后在sio2层上方生成si3n4层；6)在sio2层、si3n4层上刻出接触孔，然后溅射金属，溅射完成后刻蚀形成正面金属电极；7)在衬底的背面做金属化处理形成背面电极。所述的衬底采用电阻率20～100为ohm·cm的低电阻率硅材料；衬底直接与背面金属形成良好的欧姆接触；所述的高反层是由折射率～～，通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成；所述的外延层的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层的厚度与耗尽区宽度相当；所述的保护环为as离子源注入，注入剂量为1e15～2e15。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳。重庆光电硅光电二极管电池硅光电二极管电路哪家好？世华高。

    通过2CU、R­1­、R­2­的电流很小，因此R­2­两端电压很小，使BG­1­截止。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年。总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。BG­2­也截止，继电器触点释放。

    本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管供应商就找世华高！

    技术实现要素：本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法，在不影响光电二极管响应度的前提下，解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题，实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现：一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极的衬底；衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极；所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区；所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率～～；高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔，或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时，孔直径为10～50um，孔间距为15～50um，圆形孔的总面积为结面积的1/2；所述的刻蚀孔为同心环形孔时，同心环中心与正面金属电极的中心重合，同心环中心为刻蚀区，相邻环间距5～20um。所述的外延层淀积在高反层上；在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。滨松光电二极可选世华高。成都硅pin硅光电二极管特性

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    就是硅光电二极管的反向工作电压必须大于10伏的原因所在。2．硅光电二极管的光电流、暗电流随温度的变化均有变化。在环境温度0℃以上，反向工作电压不变的条件下，环境温度变化（25～30）℃时，硅光电二极管的暗电流将变化10倍，光电流变化10％左右，所以在要求稳定性高的电路中要考虑温度补偿的问题。二、2CU型硅光电二极管在电路中接法：2CU型硅光电二极管在接入电路前先要按产品说明书所述来分清“＋”、“（-）”极。例如2CU­1­和2CU­2­型管子。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。有时在管壳上靠近“＋”极引线那边点上色点作为标记，也有用管帽边沿上突起一点作为参考点来分清“＋”、“-”极（见图⑤（a））。浙江硅光电硅光电二极管特性