江苏光电硅光电二极管特性

    技术实现要素：本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法，在不影响光电二极管响应度的前提下，解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题，实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现：一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极的衬底；衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极；所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区；所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率～～；高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔，或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时，孔直径为10～50um，孔间距为15～50um，圆形孔的总面积为结面积的1/2；所述的刻蚀孔为同心环形孔时，同心环中心与正面金属电极的中心重合，同心环中心为刻蚀区，相邻环间距5～20um。所述的外延层淀积在高反层上；在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。世华高硅光电二极管让你体验许多功能。江苏光电硅光电二极管特性

    其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。磁环17的外壁壁与卡槽15的内壁固定连接，且卡槽15设置在下固定板7顶端的中部，卡槽15底端的边侧固定设有感应线圈16，下固定板7的出气管通过耐高温传输管道8与微型真空泵10的抽气端固定连通，使石英玻璃罩1内部保持真空，下固定板7出气管的一侧固定设有真空电磁阀9，下固定板7的进气管通过耐高温传输管道8与氮气充气泵12的充气端固定连通，对高压二极管硅叠进行冷却和保护，卡槽15底端的一侧与熔深检测仪14的检测端穿插连接，对高压二极管硅叠进行熔深检测；石英玻璃罩1、上固定板3和下固定板7的外壁均固定设有隔热层，三个隔热层均由多层镀铝薄膜制成，避免操作人员被；下固定板7进气管的一侧固定设有氮气电磁阀11，控制氮气进入石英玻璃罩1的速率和流量；卡槽15底端的另一侧与温度检测仪13的检测端穿插连接，对焊接好的高压二极管硅叠进行温度检测。肇庆硅pin硅光电二极管阵列硅光电池哪一家做得好？世华高好。

    本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。

    该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。有时在管壳上靠近“＋”极引线那边点上色点作为标记。也有用管帽边沿上突起一点作为参考点来分清“＋”、“-”极（见图⑤（a））。2CU­3­型管子二条引线中较长一根是“＋”极。2CU型硅光电二极管使用时电原理图见图⑤（b）。图中E为反向工作电压的电源，R­L­是负载电阻，电信号就从它的两端输出。当无光照时，R­L­两端的电压很小；当有光照时，R­L­两端的电压增高。R­L­两端电压大小随光照强弱作相应的变化，这样就将光信号变成了电信号。图⑥所示是实际应用中的简单的光电控制线路。其中图⑥（a）是亮通的光控线路。图中2CU管是光电接收元件，三极管BG­1­和BG­2­直接耦合组成一级射极跟随器。“J”表示继电器，它的型号是JRXB－1型。图中D­1­是2CP­10­型二极管，它的作用是保护BG­2­三极管的。当有光照射到光电管上时，光电管内阻变小，因此使通过2CU、R­1­、R­2­的电流变大则R­2­两端的电压增大，使BG­1­导通。BG­1­发射极电流大部分流入BG­2­基极，使BG­2­导通并饱和，这样继电器线圈中流过较大的电流，使继电器触点吸合；当无光照时2CU内阻增大。硅光电二极管特性给您带来智能体验。

    深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。孔直径为25um，孔间距35um；也可以为同心环结构，该同心环中心与金属电极106中心重合，个环直径与金属电极106直径相同，相邻环间距10um，环中心距35um；正面金属电极106下方的高反层需要刻蚀掉，以增大同流能力，降低扩散电阻，提高响应速度。进一步的，参见图5-1～图5-7。本发明还提出一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法，包括以下操作：1)在衬底107上溅射生成高反层109；2)高反层109开设刻蚀孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长外延层101；4)在外延层101上通过离子注入分别形成保护环102和有源区103；5)在保护环102和有源区103上生成sio2层104，然后在sio2层上方生成si3n4层105。世华高硅光电二极管物体检测效果很好，使用寿命也很长。江苏光电硅光电二极管特性

滨松光电二极管哪家好？世华高好。江苏光电硅光电二极管特性

    这样的线路起到了光电控制作用。图⑥（b）是暗通的光控线路，与图⑥。a）相比电路中2CU与R­2­的位置对调了。当有光照时2CU内阻变小。它两端的压降减小，这样使BG­1­截止，BG­2­也截止，继电器触点不吸合，当无光照时2CU的内阻增大。它两端的压降增大，使BG­1­导通，BG­2­也导通，继电器触点吸合。三、2DU型硅光电二极管在电路中的接法：我厂生产的2DU型硅光电二极管的前极、后极以及环极可按图①。b）所示来分辨。2DU型硅光电二极管使用时电原理图见图⑦，2DU管的后极接电源的负极，环极接电源的正极，前极通过负载电阻R­L­接到电源的正极。有了R­L­使环极的电位比前极电位高，这样表面漏电流从环极流出而不经过前极，使前极暗电流减小，从而提高了管子的稳定性。利用2DU型硅光电二极管组成的光控电路见图⑧所示，电路原理同图⑥（b），这里不再重述。硅光电二极管的选用如果我们把光电管用于一般的光电控制电路时，在设备的体积许可条件下，可以尽量选用光照窗口面积大的管子，如选用2CU­1­，2CU­2­或2DUB等型的管子。2DUA和2CU3型硅光电二极管的体积较小，特别是2DUA类型的管子，外壳宽度只有2毫米。深圳市世华高半导体有限公司。江苏光电硅光电二极管特性