手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mmor200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。探针台的维护与保养就显得尤为重要。山西全自动探针台报价
探针台是检测芯片的重要设备,在芯片的设计验证阶段,主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标,在检测过程中会对芯片样品逐一检查,只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。半导体行业向来有“一代设备,一代工艺,一代产品”的说法。半导体设备价值普遍较高,一条先进半导体生产线投资中,设备价值约占总投资规模的75%以上。随着全球半导体行业市场规模不断扩大,半导体设备市场也呈增长趋势。根据SEMI统计,全球半导体设备销售额从2013年的318亿美元增长至2018年的645亿美元,年复合增长率约为15.2%,但受到半导体行业景气度下滑及宏观经济环境影响,2019年、2020年一季度增长有所下降,但预计疫病过后,将恢复增长。山西全自动探针台报价通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化。
探针卡没焊好:1.探针卡针焊得不到位;2.基板上铜箔剥落,针焊接不牢固,或焊锡没有焊好而造成针虚焊;3.探针卡布线断线或短路;背面有突起物,焊锡线头针尖磨平:1.针在使用很长时间后尖正常损耗;2.操作工用过粗的砂子;3.砂针尖时用力过猛;4.砂得时间过长;针尖如磨平,使针尖偏离压点,测试无法通过,针尖接触面大,而接触电阻大影响参数测试,所以平时如果在测片子之前,先拿上卡到显微镜下检查针尖有否磨平,如已磨平应及时换针,操作工在砂针尖时注意技能,应轻轻打磨针尖,而不致于磨平针尖。
近来出现的一种选择是使用同轴射频电缆安装探针,它结合了探针台准确性和可重复性的功能以及用探针可及性的功能。这些探针的边缘类似于探针台探针夹具——接地-信号-接地(GSG)或者接地-信号(GS)——一端带有pogo-pin探针,另一端带有典型的同轴连接器。这些新型探针可以达到40GHz,回波损耗优于10dB。探针的针距范围在800微米到1500微米之间,这些探针通常使用的终端是3.5毫米母头或2.92毫米母头同轴连接器。与探针台一样,可以在特定的测试区域中设计一个影响小的焊盘端口,或者可以将探针放置在靠近组件的端子或微带传输线上。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,表面电阻率探针台。
从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。探针材质、探针直径、光束长度、和尖锥长度都在决定顶端压力时起重要的作用。黑龙江射频探针台公司
探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。山西全自动探针台报价
自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场,成功填补国内该研发生产领域的空白。山西全自动探针台报价