探针台基本参数
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探针氧化:通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化,针尖如果氧化,接触电阻变大,测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里,存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化,同时测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。浙江磁场探针台供应商

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晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。湖北控温探针台供应商平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开。

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针尖有铝粉:测大电流时,针尖上要引起多AL粉,使电流测不稳,所以需要经常用洒精清洗探针并用氮气吹干,同时测试时边测边吹氮气,以减少针尖上的AL粉。针尖有墨迹:测试时打点器没有调整好,尼龙丝碰到针尖上,针尖上沾上墨迹,然后针尖与压点接触时,压点窗口上墨迹沾污,使片子与AL层接触不良,参数通不过,还有对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,所以平时装打点器时,不要把打点器装得太前或太后和太高或太低,而应该使尼龙丝与硅片留有一定距离,然后靠表面涨力使墨水打到管芯中心,如已经沾上墨迹,要立即用酒精擦干净,并用氮气吹干。

铼钨探针指的是采用含铼3%的铼钨合金丝打造而成的探针。中钨在线提供好的铼钨探针产品。钨作为一种硬度强、耐高温的金属材料,常被用于灯丝、电极、热电偶或者探测针等等,但钨本身存在易脆和可塑性低的问题,这减小了其使用过程中的寿命。为降低钨的脆性以及提高其可塑性,传统的方法通过在钨内添加稀有金属形成钨基合金增加其性能。在钨内添加铼,可以发生“铼塑化效应”,增加钨的可塑性。铼钨合金具有高熔点、厉害度、高硬度、高塑性、高再结晶温度、高电阻率,低蒸气压、低电子逸出功和低塑性脆性转变温度等一系列优良性能。某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路。

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“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。探针台把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。江苏控温探针台哪里有

通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化。浙江磁场探针台供应商

如何判断探针卡的好坏:1.可以用扎五点来判断,即上中下左右,五点是否扎在压点内,且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,探针与被测IC没有接触好,测试值接近于0。总之,操作工只要了解了探针卡故障的主要原因:1.探针氧化.2.针尖有异物(铝粉,墨迹,尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损)。.5.针尖磨平.6.探针卡没焊好.7.背面有突起物,焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好探针卡,卡应放到氮气柜中.2.做好探针卡的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。浙江磁场探针台供应商

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