探针台基本参数
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探针台企业商机

12英寸晶圆在结构上具有更高的效率,以200mm工艺为例,在良率100%的情况下,可出88个完整的晶粒,理论上因方块切割所造成的边缘浪费率为23%(约有20个晶粒因缺角破损而无法使用);而若以300mm工艺进行切割,则产出效率将更惊人,可产出193个完整的晶粒,会浪费19%的晶圆面积(36个不完整晶粒)。此外,12英寸厂的规模经济优势也不容小视;300mm的建厂成本与200mm的建厂成本比值约为1.5,而晶圆厂建厂成本与晶圆面积的比值却少于2.25,这意味着只要多投入1.5倍的建厂成本,即可多生产2.25倍的晶粒!少少的边际投入即可获取的收益,约可节省33%的成本;如此高报酬的投资效益随着技术的发展而让人们受益。探针台测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里。北京全自动探针台生产

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如何将探针连接至待测点:(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好探针的高度,侧向平视,观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器,将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。陕西探针台厂家某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。

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精细探测技术带来新优势:先进应力控制技术亦是必须的。为减少或消除造成良率下降之垫片损伤,在铜质垫片加上铝帽将能减少对易碎低K/高K介电的负面效应。以先进工艺驱动在有效区域上垫片的测试,以低冲击的探针卡,避免接触所产生阻抗问题。另一个可能损害到晶圆的来源是探针力道过猛或不平均,因此能动态控制探针强度也是很重要的;若能掌握可移转的参数及精细的移动控制,即可提升晶圆翻面时的探测精确度,使精细的Z轴定位接触控制得到协调,以提高精确度,并缩短索引的时间。

半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障。

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“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。辽宁手动高低温探针台服务

探针台由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。北京全自动探针台生产

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(很低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。经济手动型根据客户需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选);移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选);chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离;显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选);显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选);探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关;可搭配Probe card测试;适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。北京全自动探针台生产

上海勤确科技有限公司是一家经营范围包括从事计算机、电子、仪器仪表、自动化控制设备科技领域内的技术咨询、技术开发、技术转让、技术服务,电子产品、仪器仪表、通讯器材、机电设备、机械设备、办公用品的销售,从事货物及技术的进口业务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司,致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。上海勤确科技作为经营范围包括从事计算机、电子、仪器仪表、自动化控制设备科技领域内的技术咨询、技术开发、技术转让、技术服务,电子产品、仪器仪表、通讯器材、机电设备、机械设备、办公用品的销售,从事货物及技术的进口业务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的企业之一,为客户提供良好的光纤耦合对准系统,硅光芯片耦合系统,直流/射频探针台,非标耦合对准系统。上海勤确科技始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。上海勤确科技始终关注电子元器件行业。满足市场需求,提高产品价值,是我们前行的力量。

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