半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司探针尖接触电阻即探针尖与焊点之间接触时的层间电阻。浙江手动高低温探针台公司
电缆安装探针既可以手动使用,也可以与多轴探针定位器一起使用。与典型的探针台不同,这些探针足够大,操作员可以手动使用,非常可靠。探针定位器的位置精度和可重复性更高,而且本身可以放置,便于进行测试。与探针台不同,同轴电缆安装探针和定位器可以在工程师或技术人员的典型测试台上用作网络分析仪、信号发生器、频谱分析仪、示波器和其他用于射频/微波、毫米波和高速数字应用的配件。电缆安装射频探针的占位面积小、无损坏,并且具有非侵入式设计,可在高密度应用中进行测试,例如天线阵列、超材料、分形天线、微带传输线、紧凑组件以及具有微小表面安装包装组件的印刷电路板。上海智能探针台服务在检测虚焊和断路的时候,探针卡用户经常需要为路径电阻指定一个标称值。
某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路.某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路.所以平时我们操作时应找准接触点,把过行程设置为2~4MILS或70~100UM时,每个压点都有很清楚的针迹,然后再把过行程设置为0时,看清楚每个压点上都有轻轻的针迹,如果某些压点上没有针迹,就需要用镊子把这根针压下,如果某些压点上针迹太重,而需要有镊子把这根针往上抬一下,使针尖的高度差调在30UM以内,然后做接触检查,每根针与压点接触电阻应小于0.5欧姆,样片/样管测试是否OK,合格、失效管芯各测10遍,看重复性与稳定性。
下面我们来简单讲讲选择探针台设备时需要注意事项:一、机械加工精度;二、电学量测精度三、环境要求,如:真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像;五、自动化控制精度。总体而言,具有清晰并高景深的微观成像,再通过准确的探针装置对探针进行多方向移动,对准量测点,进行信号加载,通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表,以达到所需得到的分析数据,所以,如果想得到高质量的分析数据,从成像到点针,再到数据传输每项步骤都会起到重要的作用,另外振动对精度也有一定的影响。如果是合格的芯片,打点器不动作。
探针台的日常维护:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,向工作台都是其主要的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。上海智能探针台服务
探针卡没焊到位,是因为焊锡时针受热要稍微的收缩,使针尖偏离压点区。浙江手动高低温探针台公司
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号,保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题,首先为什么需要进行在片测试?因为我们需要知道器件真正的性能,而不是封装以后的,虽然可以去嵌,但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试,在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统,主要包括:矢量网络分析仪,线缆,探针,探针定位器,探针台,校准设备及软件,电源偏置等。浙江手动高低温探针台公司
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