探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。江苏高温探针台公司

探针台的使用:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。江苏手动探针台机构细针和待测器件进行物理和电学接触。

探针卡常见故障分析及维护方法:芯片测试是IC制造业里不可缺少的一个重要环节。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。硅片测试的目的是检验可接受的电学性能。测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。如果发现缺陷,产品小组将用测试数据来确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里,并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。通常用户得到电路,直接安装在印刷电路板(PCB)上,PCB生产完毕后,直接对PCB进行测试。这时如果发现问题,就需要复杂的诊断过程和人工分析,才能找到问题的原因。
正确地使用探针台,可有效地提高操效率,减少误操作造成样品和探针耗材的损伤、损耗。本文以探针台的使用方法为例,为您讲解如何使用手动探针台。主要包含了两部分的教学内容:如何使用显微镜观察和如何使用定位器将探针扎到待测点上。如何正确地使用显微镜、用显微镜观察待测样品。(1)打开显微镜光源,调节光源亮度。将待测样品(或待观察位置)移至显微镜光斑下。(2)确认显微镜调焦架处于行程中间位置,即调焦架的导轨对齐。若有偏差,可以通过旋转调焦架粗调旋钮对齐。在检测虚焊和断路的时候,探针卡用户经常需要为路径电阻指定一个标称值。

晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。探针尖接触电阻即探针尖与焊点之间接触时的层间电阻。甘肃智能探针台生产
某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路。江苏高温探针台公司
精细探测技术带来新优势:先进应力控制技术亦是必须的。为减少或消除造成良率下降之垫片损伤,在铜质垫片加上铝帽将能减少对易碎低K/高K介电的负面效应。以先进工艺驱动在有效区域上垫片的测试,以低冲击的探针卡,避免接触所产生阻抗问题。另一个可能损害到晶圆的来源是探针力道过猛或不平均,因此能动态控制探针强度也是很重要的;若能掌握可移转的参数及精细的移动控制,即可提升晶圆翻面时的探测精确度,使精细的Z轴定位接触控制得到协调,以提高精确度,并缩短索引的时间。江苏高温探针台公司
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