探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号，保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题，首先为什么需要进行在片测试？因为我们需要知道器件真正的性能，而不是封装以后的，虽然可以去嵌，但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试，在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统，主要包括：矢量网络分析仪，线缆，探针，探针定位器，探针台，校准设备及软件，电源偏置等。探针台并通过测试数据反馈，让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。河北高温探针台生产
某些针尖位置低的扎伤AL层，对后续封装压焊有影响，使芯片与封装后成品管脚焊接质量差，容易引起短路.某些针尖压痕太长，超出PAD范围，使PAD周围的铝线短路.所以平时我们操作时应找准接触点,把过行程设置为2～4MILS或70～100UM时，每个压点都有很清楚的针迹，然后再把过行程设置为0时，看清楚每个压点上都有轻轻的针迹，如果某些压点上没有针迹，就需要用镊子把这根针压下，如果某些压点上针迹太重，而需要有镊子把这根针往上抬一下，使针尖的高度差调在30UM以内，然后做接触检查，每根针与压点接触电阻应小于0.5欧姆，样片/样管测试是否OK，合格、失效管芯各测10遍，看重复性与稳定性。甘肃控温探针台加工厂家探针卡使芯片与封装后成品管脚焊接质量差，容易引起短路。
半导体生产过程中的探测，可略分为三大类：1.参数探测：提供制造期间的装置特性测量；2.晶圆探测：当制造完成要进行封装前，在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能；3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test)：在出货给顾客前，对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后，即进入晶圆探测阶段，此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶，精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后，探针台会将晶圆向上挪动，使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触，以进行探测。当测试完成，则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面，如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司
探针台的使用：1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。随着探针开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层，接触电阻减小而电流流动迅速开始。
探针氧化:通常探针是由钨制成的，它如果长期不用，针尖要形起氧化，针尖如果氧化，接触电阻变大,测试时参数测不稳，为了不使它氧化，我们平时必须保护好探针卡，把它放在卡盒里，存放在氮气柜中，防止探针的加快氧化，同时测片子时，用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气，减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后，由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。如果发现问题，就需要复杂的诊断过程和人工分析，才能找到问题的原因。控温探针台服务
探针台测试时参数测不稳，为了不使它氧化，我们平时必须保护好探针卡，把它放在卡盒里。河北高温探针台生产
“精确度”是探测仪器基本的指针，涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先，必须能稳定、精确地探测到小型垫片，载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘，并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位；其次，必须具备动态监控机制，确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性；后，必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言，针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩，为了强化更小晶粒定位的精确性，需要动态的Z轴辅助校正工作，以避免无谓的产出损失。河北高温探针台生产
