探针（探针卡）：待测芯片需要测试探针的连接，才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尖锐端尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件，探针臂应与探针尖匹配。探针夹具及电缆组件：探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。操纵器（定位器）：探针台使用操纵器将探针放置在被测物上，它可以很容易地定位探针并快速固定它们。通常使用磁铁或真空把它们固定在适当的位置。一旦固定，操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针尖锐端，并且在某些情况下提供旋转运动。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断，发出合格与不合格的信号。山东自动探针台供应
按照探针台占整个半导体检测设备投资的15.2%测算，2018年、2019年、2020年全球的探针台市场规模约为56.6亿元、46.2亿元、42.96亿元，**结束后2021年、2022年有望将达到51.56亿元、59.29 亿元的需求。国内探针台市场规模2019年约为10.25亿元，2022年将增长到15.69亿元。近年来，半导体作为信息产业的基石和兵家必争之地成为本轮贸易战的焦点。2019 年，中美摩擦、日韩半导体材料争端对全球半导体产业竞争格局也带来了较大的影响。上海勤确科技有限公司。上海高温探针台多少钱上海勤确科技有限公司服务至上，坚持优异服务、多年来，坚持科学管理规范、完善服务标准。
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号，保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题，首先为什么需要进行在片测试？因为我们需要知道器件真正的性能，而不是封装以后的，虽然可以去嵌，但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试，在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统，主要包括：矢量网络分析仪，线缆，探针，探针定位器，探针台，校准设备及软件，电源偏置等。
有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养：平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。探针卡使用一段时间后，由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。
手动探针台规格描述（以实验室常见的仪准ADVANCED八寸，六寸探针台为例）：探针台载物台平整度：5μm探针台右侧标配显微镜升降机构，可抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm，并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮，可微调控制台面升降范围25mm（客户有特殊需求，可以增大范围），精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动，移动范围为150mm or 200mm，移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障。河南测试芯片探针台配件厂家
实现芯片测试的途径就是探针卡。山东自动探针台供应
如何将探针连接至待测点：(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点（或附近的位置），使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置（即各轴导轨端面螺丝对齐）。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好探针的高度，侧向平视，观察探针与样品台（或样品）间的距离（大概5mm，或略小于5mm）。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器，将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影（探针成像未实体化）。山东自动探针台供应
