江西HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    本发明涉及陶瓷领域，特别是涉及一种碳化硅陶瓷及其制备方法和半导体零件。背景技术：反应烧结碳化硅陶瓷是由细颗粒sic和添加剂压制成素坯，在高温下与液态硅接触，坯体中的碳与渗入的si反应，生成新的sic，并与原有颗粒sic相结合，游离硅填充了气孔，从而得到高致密性的陶瓷材料。反应烧结碳化硅在烧结过程中尺寸几乎无变化，相比于常压烧结、热压烧结碳化硅材料来说，加工成本大幅降低，广泛应用于石油、化工、航空航天、核工业及半导体等领域。但是反应烧结碳化硅材料存在力学性能较差的问题，从而限制了反应烧结碳化硅材料的应用。技术实现要素：基于此，有必要提供一种力学性能好的反应烧结碳化硅陶瓷的制备方法。此外，还提供一种碳化硅陶瓷和半导体零件。一种碳化硅陶瓷的制备方法，包括如下步骤：将碳化硅微粉、金属元素的氯化物、环氧丙烷、***分散剂及***溶剂混合并在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理，得到预处理颗粒，其中，所述金属元素为稀土元素或锶元素；将所述预处理颗粒与第二分散剂、粘结剂、第二溶剂和***碳源混合造粒，得到造粒粉；将所述造粒粉成型，得到***预制坯；将所述***预制坯与第二碳源混合加热，使所述第二碳源呈液态。耐高温材料包括耐火材料和耐热材料。江西HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    工艺盘组件还包括轴承座10，传动筒4的外凸台结构42设置在轴承座10内，且传动筒4的两端设置在轴承座10外；外凸台与轴承座10的内壁之间设置有前述的轴承，使得传动筒4能够绕轴线相对轴承座10旋转；为便于安装，如图3所示，轴承座10可以包括上法兰101和下法兰102，上法兰101和下法兰102上均形成有轴孔，传动筒4朝向工艺盘01的一端穿过上法兰101上的轴孔，传动筒4背离工艺盘01的一端穿过下法兰102上的轴孔。为保证定位传动筒4的轴向定位，避免传动筒4在转动时晃动，推荐地，上述滚针轴承为推力滚针轴承，且位于外凸台结构42背离工艺盘01一侧的推力滚针轴承与下法兰102之间还设置有碟形弹簧。在传动筒4安装至轴承座10中时，传动筒4的两端分别穿过上法兰101和下法兰102上的轴孔，在上法兰101和下法兰102通过固定连接件(如螺栓)连接在一起的同时，推力滚针轴承分别被压紧贴合在外凸台结构42的上下两面，并由碟形弹簧维持推力滚针轴承上的轴向压力，从而保证定位传动筒4的轴向定位。推荐地，如图3所示，上法兰101和下法兰102在上述轴孔处均设置有环绕传动筒4的油封，以避免轴承座10中的润滑液逸出或外界物质进入轴承座10中对造成传动件的腐蚀、磨损。推荐地，如图1、图2所示。湖北PE半导体与电子工程塑料零件定制加工要求也有高分子聚合物材料、耐热材料。

    所述驱动轴包括驱动轴体部和驱动连接部，所述驱动衬套套设在所述驱动连接部外部，所述工艺盘转轴的底端形成有安装孔，所述驱动衬套部分设置在所述安装孔中，所述工艺盘转轴通过所述驱动衬套、所述驱动连接部与所述驱动轴体部连接，其中，所述驱动连接部的横截面为非圆形，所述驱动衬套的套孔与所述驱动连接部相匹配，所述工艺盘转轴的所述安装孔与所述驱动衬套相匹配，所述驱动轴旋转时，带动所述驱动衬套及所述工艺盘转轴旋转。推荐地，所述驱动衬套的外壁上形成有至少一个定位凸起，所述安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽，所述定位凸起一一对应地插入所述定位槽中。推荐地，所述驱动连接部的侧面包括至少一个定位平面，以使得所述驱动连接部的横截面为非圆形。推荐地，所述驱动连接部的侧面包括两个所述定位平面，以及设置在两个所述定位平面之间的两个圆柱面。推荐地，所述驱动衬套包括相互连接的***衬套部和第二衬套部，所述***衬套部和所述第二衬套部沿所述工艺盘转轴的轴线方向排列，所述第二衬套部位于所述***衬套部朝向所述驱动轴体部的一侧，所述套孔包括形成在所述***衬套部中的驱动通孔和形成在所述第二衬套部中的轴通孔，所述驱动通孔与所述驱动连接部匹配。

    工艺盘转轴1用于驱动工艺盘01旋转，工艺盘组件还包括驱动轴3和驱动衬套2。如图5至图12所示，驱动轴3包括驱动连接部310和驱动轴体部320，驱动衬套2套设在驱动连接部310外部，工艺盘转轴1的底端形成有安装孔，驱动衬套2部分设置在该安装孔中，工艺盘转轴1通过驱动衬套2、驱动连接部310与驱动轴体部320连接。其中，驱动连接部310的横截面为非圆形，驱动衬套2的套孔与驱动连接部310相匹配，工艺盘转轴1的安装孔与驱动衬套2相匹配，驱动轴3旋转时，带动驱动衬套2及工艺盘转轴1旋转。需要说明的是，在本实用新型的实施例中，驱动连接部310匹配设置在驱动衬套2的套孔中、驱动衬套2匹配设置在工艺盘转轴1的安装孔中，驱动轴体部320用于通过驱动连接部310、驱动衬套2带动工艺盘转轴1转动，并且驱动轴体部320能够保证驱动轴3轴线的角度和位置。本实用新型对驱动轴体部320如何实现定位不做具体限定，例如，驱动轴体部320可以直接与轴承等零件连接，以实现其轴向定位和径向定位，或者，驱动轴体部320也可以与其它在轴承中固定的转轴结构固定连接。在本实用新型的实施例中，驱动连接部310为非圆柱体，驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔。CMP环材料的制造商，包括Techtron® PPS（CMP应用）。

    为实现传动筒4的平稳传动，可选地，如图1至图3所示，工艺盘组件还包括传动架9，传动架9的一端与传动筒4背离波浪管6的一端固定连接，传动架9的另一端用于与电机12的输出轴连接，传动架9用于带动传动筒4转动。本实用新型对传动架9的结构不做具体限定，例如，如图3所示，传动架9包括一对传动法兰91和用于连接两传动法兰91的法兰连接件92。推荐地，下方的传动法兰91通过联轴器与电机12的输出轴连接。为保证所述工艺盘组件运动的流畅性，推荐地，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。本实用新型的发明人在研究中发现，现有的半导体设备出现旋转卡顿的问题是因为运动件之间的润滑油脂液化泄露，导致润滑效果变差。进过进一步研究后，发明人发现是运动件中的部分钢铁材料结构在高速旋转的过程中因电磁感应效应产生发热现象，其发热量过大引起润滑油脂液化。因此，本实用新型中推荐地选择驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1的材料为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢的材料与现有技术中运动件常采用的304不锈钢相比，电阻率更低，在相同转速下电磁感应发热量更小，从而避免了润滑油脂泄露，保证了所述工艺盘组件运动的流畅性。作为一种推荐的实施方式。磨削、铣削、钻孔、车削和制造都可以很好地运用在半导体零件加工上。河北PP半导体与电子工程塑料零件定制加工隔音吗

并其生产过程依照优良制造标准（GMP）控制。江西HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    得到排胶后的***预制坯。(5)将排胶后的***预制坯升温至300℃，加入第二碳源酚醛树脂，加热2h，然后抽真空1h，再以氮气加压至5mpa，进行压力浸渗，让高含碳液体渗入预制坯的孔隙中，降温得到第二预制坯。(6)将第二预制坯放置于真空排胶炉中，以每分钟℃的速度升温至900℃，保温3h，排胶后，机加工得到排胶后的第二预制坯。(7)将排胶后的第二预制坯和硅粉按质量比为1∶2在石墨坩埚中混合，然后放置于真空高温烧结炉中进行反应烧结，烧结温度为1600℃，保温时间为3h，冷却后，得到碳化硅陶瓷。实施例3本实施例的碳化硅陶瓷的制备过程具体如下：(1)以氧化铈与碳化硅微粉的质量比为5∶100，得到氯化铈与碳化硅微粉的质量比为，然后将氯化铈溶解在水和酒精的混合溶液中，溶解完全后加入***分散剂丙烯酸铵与丙烯酸钠的混合物，然后加入粒径为10μm的碳化硅微粉，搅拌均匀，得到***浆料。在冰浴条件下加入与***浆料的质量比为∶1的环氧丙烷，搅拌均匀得第二浆料。将第二浆料在闭式喷雾塔中喷雾，得到表面覆盖有氧化铈的碳化硅颗粒。然后将碳化硅颗粒在真空条件、900℃下进行热处理1h，得到预处理颗粒。(2)将第二分散剂丙烯酸铵与丙烯酸钠的混合物溶解在水中形成溶液。江西HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

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