工艺盘组件还包括升降机构11,升降机构11与轴承座10连接,用于驱动轴3承座沿传动筒4的轴线方向运动。在本实用新型的实施例中,传动筒4通过轴承轴向固定于轴承座10内,因此升降机构11可以带动传动筒4升降,进而带动工艺盘转轴1和工艺盘01在腔室中升降。推荐地,如图2至4所示,工艺盘组件还包括波浪管6,波浪管6套设在传动筒4的外侧,波浪管6的一端与轴承座10固定连接,波浪管6的另一端用于与工艺腔密封连接。需要说明的是,波浪管6的上端与工艺腔(图未示)的腔室连通,波浪管6的下端与传动机构之间不连通,由于将波浪管气孔61输入的工艺气体导入腔室中以及将反应后的气体由波浪管气孔61导出。在轴承座10进行升降运动时,波浪管6的长度随之改变。本实用新型的实施例中设置波浪管6环绕在传动筒4的外侧,从而利用波浪管6与传动筒4外壁之间的空隙实现了工艺气体的输送,节约了设备空间。为减轻传送组件在升降过程中的振动,提高组件的稳定性,推荐地,如图1所示,工艺盘组件还包括定位块13,定位块13与上法兰101的上表面固定连接。定位块13推荐为弹性材料。在轴承座10向上运动超过预定高度时,定位块13接触上方连接在工艺腔底部的缓冲架,使轴承座10停止上升。我们会对生产的部件进行检测。江苏PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
所述工艺盘组件为前面所述的工艺盘组件,所述工艺盘组件的工艺盘设置在所述工艺腔中。在本实用新型提供的工艺盘组件以及半导体设备中,工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接,驱动连接部的横截面为非圆形,而驱动衬套的套孔与驱动连接部相匹配,工艺盘转轴的安装孔与驱动衬套相匹配。从而通过非圆柱体的驱动连接部与驱动衬套上的异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套,进而基于安装孔与驱动衬套的配合关系传递至工艺盘转轴,从而能够避免驱动轴与驱动衬套之间发生相对滑动,提高了工艺盘转轴旋转角度的控制精度,进而提高了工件的放置精度。附图说明附图是用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型,但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:图1是本实用新型提供的工艺盘组件的结构示意图;图2是图1所示的工艺盘组件的a-a向剖视图;图3是图2中虚线圈出部分的放大示意图;图4是图3的局部放大示意图;图5是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动轴的结构示意图;图6是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套的结构示意图;图7是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的结构示意图。湖北环保半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳还用作耐化学腐蚀材料和硬质材料等.
以糠醛与聚碳硅烷的混合物为***碳源和预处理颗粒在该溶液中均匀分散,再以聚乙烯醇、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛的混合物为粘接剂加入其中,进行球磨,球磨过程中的转速为300转/分,球磨时间为1h,得到第三浆料,将第三浆料在喷雾造粒塔中喷雾,得到平均尺寸为80微米的造粒粉。(3)将造粒粉均匀填满模具,进行模压成型,成型压强为170mpa,保压时间为10s,脱模得,然后置入真空包装袋中,抽真空,再置于等静压机中等静压成型,成型压力为400mpa,保压时间为180s,得到***预制坯。(4)将***预制坯放置于真空排胶炉中,以每分钟1℃的速度升温至900℃,保温4h,得到排胶后的***预制坯。(5)将排胶后的***预制坯升温至340℃,以沥青和环氧树脂为第二碳源加入其中,加热3h,然后抽真空1h,再以氮气加压至7mpa,进行压力浸渗,让第二碳源渗入***预制坯的孔隙中,降温得到第二预制坯。(6)将第二预制坯放置于真空排胶炉中,以每分钟1℃的速度升温至900℃,保温4h,排胶后,机加工得到排胶后的第二预制坯。(7)将排胶后的第二预制坯和硅粉按质量比为1∶4在石墨坩埚中混合,然后放置于真空高温烧结炉中进行反应烧结,烧结温度为1800℃,保温时间为1h,冷却后,得到碳化硅陶瓷。
2.汽车光电子市场。目前汽车防撞雷达已在很多***车上得到了实用,将来肯定会越来越普及。汽车防撞雷达一般工作在毫米波段,所以肯定离不开砷化镓甚至磷化铟,它的中频部分才会用到锗硅。由于全球汽车工业十分庞大,因此这是一个必定会并发的巨大市场。3.半导体照明技术的迅猛发展。基于半导体发光二极管(LED)的半导体光源具有体积小、发热量低、耗电量小、寿命长、反应速度快、环保、耐冲击不易破、废弃物可回收,没有污染,可平面封装、易开发成轻薄短小产品等优点,具有重大的经济技术价值和市场前景。特别是基于LED的半导体照明产品具有高效节能、绿色环保优点,在全球能源资源有限和保护环境可持续发展的双重背景下,将在世界范围内引发一场划时代的照明**,成为继白炽灯、荧光灯之后的新一代电光源,进入到千家万户。目前LED已***用于大屏幕显示、交通信号灯、手机背光源等,开始应用于城市夜景美化亮化、景观灯、地灯、手电筒、指示牌等,随着单个LED亮度和发光效率的提高,即将进入普通室内照明、台灯、笔记本电脑背光源、LCD显示器背光源等,因而具有广阔的应用前景和巨大的商机。4.新一代光纤通信技术。新一代的40Gbps光通信设备不久将会推向市场。无论客户的经营或生产场所位于何处,您都可随时联系我们化学高新材料的技术人员,为您提供支持。
从而能够缓解定位平面311两侧的应力集中现象,提高了驱动轴3和驱动衬套2上应力分布的均匀性。并且,在本实施例中,两圆柱面312与驱动衬套2套孔中的相应圆柱面相配合,能够实现定位平面311的精确定位,保证定位平面311与驱动衬套2套孔中的平面紧密贴合,避免平面之间的空隙导致驱动轴3和驱动衬套2在传动过程中相互碰撞、磨损。此外,两定位平面311以驱动轴3的轴线为对称中心对称设置,使得驱动轴3与驱动衬套2通过平面传动时受到的力矩也是中心对称的,避免了驱动衬套2与驱动轴3的轴线之间发生偏移,保证了定位精度。为提高工艺盘组件结构的整体强度,推荐地,如图6所示,驱动衬套2包括相互连接的***衬套部210和第二衬套部220,***衬套部210和第二衬套部220沿工艺盘转轴1的轴线方向排列,第二衬套部220位于***衬套部210朝向驱动轴体部320的一侧,驱动衬套2的套孔包括形成在***衬套部210中的驱动通孔211和形成在第二衬套部220中的轴通孔221,驱动通孔211与驱动连接部310匹配;***衬套部210的外径小于第二衬套部220的外径,定位凸起222形成在第二衬套部220的外壁上,且第二衬套部220与工艺盘转轴1的安装孔相配合。在本实用新型的实施例中。工程塑料,绝缘材料板机加工零件。江苏PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
CNC数控机床可以处理多种半导体材料及其工程组合。江苏PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
所述驱动轴包括驱动轴体部和驱动连接部,所述驱动衬套套设在所述驱动连接部外部,所述工艺盘转轴的底端形成有安装孔,所述驱动衬套部分设置在所述安装孔中,所述工艺盘转轴通过所述驱动衬套、所述驱动连接部与所述驱动轴体部连接,其中,所述驱动连接部的横截面为非圆形,所述驱动衬套的套孔与所述驱动连接部相匹配,所述工艺盘转轴的所述安装孔与所述驱动衬套相匹配,所述驱动轴旋转时,带动所述驱动衬套及所述工艺盘转轴旋转。推荐地,所述驱动衬套的外壁上形成有至少一个定位凸起,所述安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽,所述定位凸起一一对应地插入所述定位槽中。推荐地,所述驱动连接部的侧面包括至少一个定位平面,以使得所述驱动连接部的横截面为非圆形。推荐地,所述驱动连接部的侧面包括两个所述定位平面,以及设置在两个所述定位平面之间的两个圆柱面。推荐地,所述驱动衬套包括相互连接的***衬套部和第二衬套部,所述***衬套部和所述第二衬套部沿所述工艺盘转轴的轴线方向排列,所述第二衬套部位于所述***衬套部朝向所述驱动轴体部的一侧,所述套孔包括形成在所述***衬套部中的驱动通孔和形成在所述第二衬套部中的轴通孔,所述驱动通孔与所述驱动连接部匹配。江苏PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
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