驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2,从而能够在工艺盘组件进行变速运动时,避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度,进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度。为实现驱动衬套2与工艺盘转轴1的匹配,同时提高驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度,推荐地,如图5至图12所示,驱动衬套2的外壁上形成有至少一个定位凸起222,对应的,安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽,定位凸起222一一对应地插入定位槽中。如图11、图12所示为本实用新型的实施例中驱动衬套2插入工艺盘转轴1的底端安装孔时,定位凸起222插入定位槽中的过程示意图。在本实施例中,驱动衬套2通过定位凸起222与定位槽之间的配合,将驱动轴3的扭矩传递至工艺盘转轴1,从而在工艺盘组件需要进行启动或急停等变速运动时,能够避免驱动衬套2与工艺盘转轴1之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度,进而提高了工件的放置精度。为降低工艺成本,推荐地,如图11所示,定位槽轴向延伸至工艺盘转轴1的底端。在本实用新型的实施例中,定位槽直接与工艺盘转轴1的底端连通,从而在加工定位槽和定位凸起222时。我们的零件被设计用于整个晶圆加工制程。安徽HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务
所述工艺盘组件为前面所述的工艺盘组件,所述工艺盘组件的工艺盘设置在所述工艺腔中。在本实用新型提供的工艺盘组件以及半导体设备中,工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接,驱动连接部的横截面为非圆形,而驱动衬套的套孔与驱动连接部相匹配,工艺盘转轴的安装孔与驱动衬套相匹配。从而通过非圆柱体的驱动连接部与驱动衬套上的异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套,进而基于安装孔与驱动衬套的配合关系传递至工艺盘转轴,从而能够避免驱动轴与驱动衬套之间发生相对滑动,提高了工艺盘转轴旋转角度的控制精度,进而提高了工件的放置精度。附图说明附图是用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型,但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:图1是本实用新型提供的工艺盘组件的结构示意图;图2是图1所示的工艺盘组件的a-a向剖视图;图3是图2中虚线圈出部分的放大示意图;图4是图3的局部放大示意图;图5是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动轴的结构示意图;图6是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套的结构示意图;图7是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的结构示意图。湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工定制高耐磨,抗冲击,耐腐蚀塑胶零部件加工。
有机半导体材料可分为有机物,聚合物和给体受体络合物三类。有机半导体芯片等产品的生产能力差,但是拥有加工处理方便,结实耐用,成本低廉,耐磨耐用等特性。3、非晶半导体材料非晶半导体按键合力的性质分为共价键非晶半导体和离子键非晶半导体两类,可用液相快冷方法和真空蒸汽或溅射的方法制备。在工业上,非晶半导体材料主要用于制备像传感器,太阳能锂电池薄膜晶体管等非晶体半导体器件。4、化合物半导体材料化合物半导体材料种类繁多,按元素在周期表族来分类,分为三五族,二六族,四四族等。如今化合物半导体材料已经在太阳能电池,光电器件,超高速器件,微波等领域占据重要位置,且不同种类具有不同的应用。总之,半导体材料的发展迅速,应用***,随着时间的推移和技术的发展,半导体材料的应用将更加重要和关键,半导体技术和半导体材料的发展也将走向更**的市场。第二代半导体材料的发展方向当前化合物半导体产业发展主要体现在以下五个方面。1.消费类光电子。光存贮、数字电视与全球家用电子产品装备无线控制和数据连接的比例越来越高,音视频装置日益无线化。再加上笔记本电脑的普及,这类产品的市场为化合物半导体产品的应用带来了庞大的新市场。
碳化硅的自扩散系数小,在不添加烧结助剂的情况下,很难烧结,即使在高温高压下也很难烧结出致密的组织。而采用金属元素的氧化物为烧结助剂能够降低烧结温度,促进烧结体组织致密化,从而提高碳化硅陶瓷的力学性能。***分散剂包括四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。***分散剂能够使碳化硅微粉和稀土元素的氯化物在***溶剂中混合均匀,从而利于后续的喷雾及热处理过程。具体地,步骤s110包括:步骤s112:将金属元素的氯化物、***分散剂、***溶剂及碳化硅微粉混合,得到***浆料。具体地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的%~%计算得到。进一步地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的2%~3%计算得到。具体地,***溶剂能够溶解金属元素的氯化物。在其中一个实施例中,***溶剂为水和乙醇的混合物。可以理解,在其他实施例中,***溶剂还可以为其他能够溶解金属元素的氯化物的溶剂。步骤s114:在冰浴条件下,将***浆料与环氧丙烷混合,得到第二浆料,且环氧丙烷与***浆料的质量比为(~)∶1。将***浆料与环氧丙烷混合。CNC 车削加工服务,订购 CNC 车削部件。
3)为:将造粒粉均匀填满模具,进行模压成型,成型压强为120mpa,保压时间为50s,脱模得到***预制坯。对比例8对比例8的碳化硅陶瓷的制备过程与实施例2的碳化硅陶瓷的制备过程相似,区别在于:步骤(3)为:将造粒粉置入真空包装袋中,抽真空,然后置于等静压机中等静压成型,成型压力为300mpa,保压时间为120s,得到***预制坯。对比例9对比例9的碳化硅陶瓷的制备过程与实施例2的碳化硅陶瓷的制备过程相似,区别在于:步骤(7)中,烧结温度为1300℃。对比例10对比例10的碳化硅陶瓷的制备过程与实施例2的碳化硅陶瓷的制备过程相似,区别在于:步骤(7)中,烧结温度为1900℃。对比例11对比例11的碳化硅陶瓷的制备过程与实施例2的碳化硅陶瓷的制备过程相似,区别在于:步骤(7)中,第二预制坯与硅粉的质量比为1∶。对上述实施例1~实施例3和对比例1~对比例11得到的碳化硅陶瓷的力学性能进行测试。采用gbt6065-2006三点弯曲强度法测试碳化硅陶瓷的抗弯强度。采用astme384-17纳米压痕方法测试碳化硅陶瓷的维氏硬度。采用gb-t25995-2010阿基米德排水法方法测试碳化硅陶瓷的致密度。采用精细陶瓷断裂韧性试验方法单边预裂纹梁(sepb)法测试碳化硅陶瓷的断裂韧性。熟知机加工技能:三菱化学高新材料也通过机加工或注塑生产机械配件。PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工厚度
生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作。安徽HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务
工艺盘转轴1用于驱动工艺盘01旋转,工艺盘组件还包括驱动轴3和驱动衬套2。如图5至图12所示,驱动轴3包括驱动连接部310和驱动轴体部320,驱动衬套2套设在驱动连接部310外部,工艺盘转轴1的底端形成有安装孔,驱动衬套2部分设置在该安装孔中,工艺盘转轴1通过驱动衬套2、驱动连接部310与驱动轴体部320连接。其中,驱动连接部310的横截面为非圆形,驱动衬套2的套孔与驱动连接部310相匹配,工艺盘转轴1的安装孔与驱动衬套2相匹配,驱动轴3旋转时,带动驱动衬套2及工艺盘转轴1旋转。需要说明的是,在本实用新型的实施例中,驱动连接部310匹配设置在驱动衬套2的套孔中、驱动衬套2匹配设置在工艺盘转轴1的安装孔中,驱动轴体部320用于通过驱动连接部310、驱动衬套2带动工艺盘转轴1转动,并且驱动轴体部320能够保证驱动轴3轴线的角度和位置。本实用新型对驱动轴体部320如何实现定位不做具体限定,例如,驱动轴体部320可以直接与轴承等零件连接,以实现其轴向定位和径向定位,或者,驱动轴体部320也可以与其它在轴承中固定的转轴结构固定连接。在本实用新型的实施例中,驱动连接部310为非圆柱体,驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔。安徽HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务
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