2.汽车光电子市场。目前汽车防撞雷达已在很多***车上得到了实用,将来肯定会越来越普及。汽车防撞雷达一般工作在毫米波段,所以肯定离不开砷化镓甚至磷化铟,它的中频部分才会用到锗硅。由于全球汽车工业十分庞大,因此这是一个必定会并发的巨大市场。3.半导体照明技术的迅猛发展。基于半导体发光二极管(LED)的半导体光源具有体积小、发热量低、耗电量小、寿命长、反应速度快、环保、耐冲击不易破、废弃物可回收,没有污染,可平面封装、易开发成轻薄短小产品等优点,具有重大的经济技术价值和市场前景。特别是基于LED的半导体照明产品具有高效节能、绿色环保优点,在全球能源资源有限和保护环境可持续发展的双重背景下,将在世界范围内引发一场划时代的照明**,成为继白炽灯、荧光灯之后的新一代电光源,进入到千家万户。目前LED已***用于大屏幕显示、交通信号灯、手机背光源等,开始应用于城市夜景美化亮化、景观灯、地灯、手电筒、指示牌等,随着单个LED亮度和发光效率的提高,即将进入普通室内照明、台灯、笔记本电脑背光源、LCD显示器背光源等,因而具有广阔的应用前景和巨大的商机。4.新一代光纤通信技术。新一代的40Gbps光通信设备不久将会推向市场。CMP环材料的制造商,包括Techtron® PPS(CMP应用)。天津FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工特色
八0%的硅单晶、大部份锗单晶以及锑化铟单晶是用此法出产的,其中硅单晶的**大直径已经达三00毫米。在熔体中通入磁场的直拉法称为磁控拉晶法,用此法已经出产出高均匀性硅单晶。在坩埚熔体表面加入液体笼盖剂称液封直拉法,用此法拉制砷化镓、磷化镓、磷化铟等分解压较大的单晶。悬浮区熔法的熔体不与容器接触,用此法生长高纯硅单晶。水平区熔法用以出产锗单晶。水平定向结晶法主要用于砷化镓单晶,而垂直定向结晶法用于碲化镉、砷化镓。用各种法子出产的体单晶再经由晶体定向、滚磨、作参考面、切片、磨片、倒角、抛光、侵蚀、清洗、检测、封装等全体或者部份工序以提供相应的晶片。在单晶衬底上生长单晶薄膜称为外延。外延的法子有气相、液相、固相、份子束外延等。工业出产使用的主要是化学气相外延,其次是液相外延。金属有机化合物气相外延以及份子束外延则用于量子阱及超晶格等微结构。非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、陶瓷、金属等衬底上用不同类型的化学气相沉积、磁控溅射等法子制成。关于半导体材料的利用的相干就为大家介绍到这里了,但愿这篇文章对于您有所匡助。如果您还有甚么不明白之处可以关注咱们1起装修网网,咱们会尽快为您解答。江西FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳熟知机加工技能:三菱化学高新材料也通过机加工或注塑生产机械配件。
作为推荐,所述圆弧基准台7的半经设置在1mm的倍数。采用此技术方案,便于测量以及计算。作为推荐,所述抓数治具1的长度设置在40-60mm,宽度设置在30-50mm。采用此技术方案,尺寸小,便于使用,以及保存。作为推荐,所述**基准块2的宽度和第二基准块3的宽度一致,其宽度设置在8-12mm。采用此技术方案,有助于减少**基准块2和第二基准块3的变形。作为推荐,所述抓数治具1的表面粗糙度设置在。采用此技术方案,表面光滑便于使用,以提升半导体零件9的抓数精度。具体实施例在使用前,先将半导体零件的一侧贴附于**基准面,然后,移动半导体零件,将半导体零件的另一侧靠紧到第二基准面,如图2所示;在实际检测时,先将治具效准在检测平台上,然后,通过抓取圆弧基准台的切边来计算半导体零件的基准点,并通过抓取的基准点测量半导体零件的倒角尺寸和崩口尺寸,并将检测的崩口尺寸大于倒角尺寸的不合格的半导体零件剔除。以上所述,*为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此。
采用此技术方案,有助于减少**基准块和第二基准块的变形。作为推荐,所述抓数治具的表面粗糙度设置在。采用此技术方案,表面光滑便于使用,以提升半导体零件的抓数精度。本实用新型的有益效果是:设计新颖,结构简单、合理,能够通过设置的**基准面和第二基准面定位半导体零件的位置,并通过设置的圆弧基准台的切边抓取半导体零件的倒角以及崩口的尺寸,以剔除不良的半导体零件;且同一治具上设置有多个抓数治具,有助于批量检测。上述说明*是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。附图说明此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本申请的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:图1为本实用新型涉及的抓数治具示意图;图2为本实用新型涉及的抓数治具排列示意图;图3为本实用新型涉及的半导体零件与抓数治具的连接示意图。图中标号说明:抓数治具1,**基准块2,第二基准块3,**基准面4,第二基准面5。***的材料选择、工程支持和测试能力。
本实用新型涉及半导体设备领域,具体地,涉及一种半导体设备中的工艺盘组件,以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术:半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成,工艺盘用于承载待加工的工件,工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面,完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性,通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转,目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中,石英转轴用于驱动工艺盘旋转,衬套套设在滑动轴上,石英转轴套设在衬套上,且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合,衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而,基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素:本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件,该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的,作为本实用新型的***个方面,提供一种半导体设备中的工艺盘组件,包括工艺盘和工艺盘转轴,所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转,所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。因此具有更佳的设计 能力和用自动化的更高可行性。PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工厚度
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并实现对工艺盘的角度进行调整,进一步推荐地,当采用上述配合面轴向错开的设计时,驱动通孔211与驱动连接部310之间为过盈配合,第二衬套部220的圆柱面与安装孔之间为过盈配合。在本实用新型的实施例中,设置工艺盘转轴1、驱动衬套2与驱动轴3之间均为过盈配合,从而使得工艺盘转轴1和驱动衬套2能够在安装后保持与驱动轴3之间的同轴度。并且,*通过调整驱动轴3的朝向即可微调工艺盘转轴1的角度,并**终实现对工艺盘的角度进行调整。为避免驱动通孔211与驱动连接部310之间的配合面尺寸的偏差导致零件损坏,推荐地,如图6所示,驱动通孔211的内壁上形成有避让槽211a,避让槽211a与驱动通孔211内壁上圆柱面与平面的相贯线位置匹配。在本实用新型的实施例中,驱动通孔211内壁上形成有避让槽211a,驱动通孔211与驱动连接部310连接时,驱动连接部310侧面的棱插入避让槽211a中,从而能够将驱动通孔211与驱动连接部310之间的平面配合面与圆柱面配合面分离。在驱动通孔211与驱动连接部310为过盈配合时,平面配合面与圆柱面配合面可以分别向外发生微小形变,而驱动连接部310侧面上的棱始终位于避让槽211a中,从而不会因两种配合面形变程度的不同而与驱动通孔211的内壁之间发生刮擦。天津FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工特色
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