所述奥氏体不锈钢具体可以是316l不锈钢,即,驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为316l不锈钢。本实用新型将现有技术中旋转件常用的304不锈钢材料替换为316l不锈钢,使得旋转件在强度几乎不变的同时,电阻率***降低,从而保证了工艺盘组件运动的流畅性。进一步推荐地,传动筒4的外凸台结构42与轴承座10之间的轴承材料也采用奥氏体不锈钢(推荐为316l不锈钢)。作为本实用新型的第二个方面,还提供一种半导体设备,包括工艺腔和工艺盘组件,其中,工艺盘组件为上文中描述的工艺盘组件,工艺盘组件的工艺盘01设置在工艺腔中。在本实用新型提供的半导体设备中,驱动连接部310为非圆柱体,驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔,驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2,从而能够在工艺盘组件进行变速运动时,避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度,进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度,并提高了工件的放置精度。可以理解的是,以上实施方式**是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言。CNC 车削加工服务,订购 CNC 车削部件。湖南PVC半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
然后加压至3mpa~7mpa,得到第二预制坯;及将所述第二预制坯和硅粉进行反应烧结,得到碳化硅陶瓷。在其中一个实施例中,所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热的步骤中,加热的温度为280℃~340℃,加热时间为1h~3h。在其中一个实施例中,所述第二预制坯与所述硅粉的质量比为1∶(~);及/或,所述将所述第二预制坯和硅粉进行反应烧结的步骤中,烧结的温度为1400℃~1800℃,时间为1h~5h。在其中一个实施例中,所述将碳化硅微粉、金属元素的氯化物、环氧丙烷、***分散剂及***溶剂混合并在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理的步骤包括:将所述金属元素的氯化物、所述***分散剂、所述***溶剂及所述碳化硅微粉混合,得到***浆料;在冰浴条件下,将所述***浆料与所述环氧丙烷混合,得到第二浆料,且所述环氧丙烷与所述***浆料的质量比为(~)∶1;将所述第二浆料进行喷雾,然后在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理,得到所述预处理颗粒。在其中一个实施例中,所述将所述金属元素的氯化物、所述***分散剂、所述***溶剂及所述碳化硅微粉混合的步骤中,所述金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为所述碳化硅微粉的质量的%~%计算得到;及/或。江苏HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工要求降低材料摩擦及磨损。
***浆料中的金属元素的氯化物在环氧丙烷的作用下沉淀。步骤s116:将第二浆料进行喷雾,然后在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理,得到预处理颗粒。具体地,在闭式喷雾塔中将第二浆料进行喷雾。步骤s116中加热处理的时间为1h~4h。将第二浆料喷雾后再进行加热处理,使得稀土元素或锶元素的氯化物转化为氧化物且均匀分布在碳化硅表面。采用上述步骤能够使稀土元素或锶元素均匀沉降在碳化硅颗粒的表面,在后续处理过程中,稀土元素或锶元素会存在于晶界处,具有促进烧结、降低气孔率的作用,从而提高碳化硅陶瓷的抗弯强度等力学性能。而传统的碳化硅陶瓷的制备过程中,通常将金属元素的氧化物作为助烧剂直接与碳化硅微粉、分散剂、粘结剂等混合,存在金属元素分散不均的问题,在后续处理中,容易出现不均匀聚集区,从而导致反应烧结碳化硅陶瓷的力学性能不理想。步骤s120:将预处理颗粒与第二分散剂、粘结剂、第二溶剂和***碳源混合造粒,得到造粒粉。其中,粘接剂包括酚醛树脂、环氧树脂、聚乙烯醇、羧甲基纤维素钠、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。***碳源包括石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种。
本发明涉及陶瓷领域,特别是涉及一种碳化硅陶瓷及其制备方法和半导体零件。背景技术:反应烧结碳化硅陶瓷是由细颗粒sic和添加剂压制成素坯,在高温下与液态硅接触,坯体中的碳与渗入的si反应,生成新的sic,并与原有颗粒sic相结合,游离硅填充了气孔,从而得到高致密性的陶瓷材料。反应烧结碳化硅在烧结过程中尺寸几乎无变化,相比于常压烧结、热压烧结碳化硅材料来说,加工成本大幅降低,广泛应用于石油、化工、航空航天、核工业及半导体等领域。但是反应烧结碳化硅材料存在力学性能较差的问题,从而限制了反应烧结碳化硅材料的应用。技术实现要素:基于此,有必要提供一种力学性能好的反应烧结碳化硅陶瓷的制备方法。此外,还提供一种碳化硅陶瓷和半导体零件。一种碳化硅陶瓷的制备方法,包括如下步骤:将碳化硅微粉、金属元素的氯化物、环氧丙烷、***分散剂及***溶剂混合并在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理,得到预处理颗粒,其中,所述金属元素为稀土元素或锶元素;将所述预处理颗粒与第二分散剂、粘结剂、第二溶剂和***碳源混合造粒,得到造粒粉;将所述造粒粉成型,得到***预制坯;将所述***预制坯与第二碳源混合加热,使所述第二碳源呈液态。自润滑配方,可降低设备维护成本。
为提高上述包括工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3在内的传动结构的密闭性,推荐地,工艺盘组件还包括传动筒4,驱动轴3和驱动衬套2设置在传动筒4内,且驱动轴3背离工艺盘转轴1的一端与传动筒4固定连接,传动筒4用于带动驱动轴3转动。需要说明的是,上述传动筒4的方案即为前面所述的“驱动轴体部320与其它在轴承中固定的转轴结构固定连接”的方案,如图3、图13所示,传动筒4的外壁上可以包括外凸台结构42,外凸台结构42环绕设置在传动筒4的外壁上,在实际使用中,外凸台结构42的上下两面(这里的上下是指图中的上下关系)分别用于与滚针轴承连接,以实现轴向定位;外凸台结构42的外侧面用于与深沟球轴承的内圈连接,从而实现对传动筒4轴线角度的固定,减小传动筒4的轴线在其转动过程中的径向跳动。在本实用新型的实施例中,采用传动筒4代替驱动轴3与轴承接触,并将驱动轴3和驱动衬套2设置在传动筒4内部,从而在保证驱动轴3的正常传动功能的同时,提高了传动结构的密闭性,避免了润滑液等物质进入包括驱动轴3和驱动衬套2在内的传动结构对其造成腐蚀,保证了传动结构的精度。本实用新型对如何定位传动筒4及与其接触的轴承不做具体限定,例如,可选地,如图2至3所示。由于该材料的线性热膨胀系数(CLTE)较低、公差配置可更紧。半导体与电子工程塑料零件定制加工特色
CNC数控机床可以处理多种半导体材料及其工程组合。湖南PVC半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
碳化硅的自扩散系数小,在不添加烧结助剂的情况下,很难烧结,即使在高温高压下也很难烧结出致密的组织。而采用金属元素的氧化物为烧结助剂能够降低烧结温度,促进烧结体组织致密化,从而提高碳化硅陶瓷的力学性能。***分散剂包括四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。***分散剂能够使碳化硅微粉和稀土元素的氯化物在***溶剂中混合均匀,从而利于后续的喷雾及热处理过程。具体地,步骤s110包括:步骤s112:将金属元素的氯化物、***分散剂、***溶剂及碳化硅微粉混合,得到***浆料。具体地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的%~%计算得到。进一步地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的2%~3%计算得到。具体地,***溶剂能够溶解金属元素的氯化物。在其中一个实施例中,***溶剂为水和乙醇的混合物。可以理解,在其他实施例中,***溶剂还可以为其他能够溶解金属元素的氯化物的溶剂。步骤s114:在冰浴条件下,将***浆料与环氧丙烷混合,得到第二浆料,且环氧丙烷与***浆料的质量比为(~)∶1。将***浆料与环氧丙烷混合。湖南PVC半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳
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