驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2,从而能够在工艺盘组件进行变速运动时,避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度,进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度。为实现驱动衬套2与工艺盘转轴1的匹配,同时提高驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度,推荐地,如图5至图12所示,驱动衬套2的外壁上形成有至少一个定位凸起222,对应的,安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽,定位凸起222一一对应地插入定位槽中。如图11、图12所示为本实用新型的实施例中驱动衬套2插入工艺盘转轴1的底端安装孔时,定位凸起222插入定位槽中的过程示意图。在本实施例中,驱动衬套2通过定位凸起222与定位槽之间的配合,将驱动轴3的扭矩传递至工艺盘转轴1,从而在工艺盘组件需要进行启动或急停等变速运动时,能够避免驱动衬套2与工艺盘转轴1之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度,进而提高了工件的放置精度。为降低工艺成本,推荐地,如图11所示,定位槽轴向延伸至工艺盘转轴1的底端。在本实用新型的实施例中,定位槽直接与工艺盘转轴1的底端连通,从而在加工定位槽和定位凸起222时。生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作。环保半导体与电子工程塑料零件定制加工要求
所述奥氏体不锈钢具体可以是316l不锈钢,即,驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为316l不锈钢。本实用新型将现有技术中旋转件常用的304不锈钢材料替换为316l不锈钢,使得旋转件在强度几乎不变的同时,电阻率***降低,从而保证了工艺盘组件运动的流畅性。进一步推荐地,传动筒4的外凸台结构42与轴承座10之间的轴承材料也采用奥氏体不锈钢(推荐为316l不锈钢)。作为本实用新型的第二个方面,还提供一种半导体设备,包括工艺腔和工艺盘组件,其中,工艺盘组件为上文中描述的工艺盘组件,工艺盘组件的工艺盘01设置在工艺腔中。在本实用新型提供的半导体设备中,驱动连接部310为非圆柱体,驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔,驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2,从而能够在工艺盘组件进行变速运动时,避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动,保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度,进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度,并提高了工件的放置精度。可以理解的是,以上实施方式**是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言。浙江HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质我们材料加工完更平整、不易变形。
半导体是1种介于导电与不导电之间的1种材料,是可用来制作半导体器件以及集成电路的材料。在现在社会中半导体材料的利用很***,下面小编简单介绍下半导体材料的利用吧。半导体材料的利用不同的半导体器件对于半导体材料有不同的形态请求,包含单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等。半导体材料的不同形态请求对于应不同的工艺。经常使用的半导体材料工艺有提纯、单晶的以及薄膜外延生长。半导体材料所有的半导体材料都需要对于原料进行提纯,请求的纯度在六个“九”以上,**高达一一个“九”以上。提纯的法子分两大类,1类是不扭转材料的化学组成进行提纯,称为物理提纯;另外一类是把元素先变为化合物进行提纯,再将提纯后的化合物还原成元素,称为化学提纯。物理提纯的法子有真空蒸发、区域精制、拉晶提纯等,使用至多的是区域精制。化学提纯的主要法子有电解、络合、萃取、精馏等,使用至多的是精馏。因为每一1种法子都有必定的局限性,因而常使用几种提纯法子相结合的工艺流程以取得合格的材料。绝大多数半导体器件是在单晶片或者以单晶片为衬底的外延片上作出的。成批量的半导体单晶都是用熔体生长法制成的。直拉法利用**广。
以避免轴承座10与工艺腔碰撞导致传送组件精度下降。为进一步提高传动筒4的稳定性,避免外界物质进入轴承座10,推荐地,如图3、图4所示,工艺盘组件还包括密封衬套5,密封衬套5环绕设置在传动筒4的外壁上。需要说明的是,密封衬套5与轴承座之间为固定连接关系,如图4所示,推荐地,密封衬套5的内壁上还设置有用于容纳密封圈的密封圈槽,在传动筒4转动时,与轴承座固定连接的密封衬套5持续地与传动筒4摩擦。为提高密封衬套5的耐磨性能,推荐地,密封衬套5为不锈钢材料。在实验研究中,发明人还发现,现有的半导体设备工艺效果不佳的原因在于,个别轴套类部件上的密封件在传动机构的运动过程中会逐渐沿轴向移动,偏离预定位置,造成半导体设备的气密性下降。为解决上述技术问题,推荐地,如图3、图4、图13所示,工艺盘组件还包括挡环7,传动筒4的外壁上形成有挡环槽43,挡环7环绕传动筒4设置在挡环槽43中,挡环7的外径大于密封衬套5朝向工艺盘01一端的内径,以使得密封衬套5无法沿轴向运动通过挡环槽43所在的位置。在本实用新型的实施例中,传动筒4的外壁上形成有挡环槽43,并在挡环槽43中设置挡环7,从而可以阻止密封衬套5轴向偏离,进而避免了避免外界物质进入轴承座10。工程塑料,绝缘材料板机加工零件。
保证了传动筒4运动的稳定性。在工艺盘组件还包括波浪管6时,如图3、图4所示,密封衬套5设置在波浪管6与传动筒4之间,密封衬套5与波浪管6固定连接。进一步推荐地,如图3、图4所示,密封衬套5与波浪管6之间还重叠设置有两层弹簧蓄能密封圈,且两层弹簧蓄能密封圈的密封壳开口均朝向轴承座10的方向。为实现工艺盘01的角度调整,推荐地,如图3、图14至图16所示,工艺盘组件还包括调平件8,传动筒4的内壁上形成有内凸台结构41,内凸台结构41环绕传动筒4的内壁设置,调平件8与驱动轴3固定连接,且沿轴线方向分别设置在内凸台结构41的两侧,以将内凸台结构41夹持在调平件8与驱动轴3之间,调平件8能够调整其自身与传动筒4之间的角度。在本实用新型的实施例中,工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3之间均存在配合关系,因此,*设置能够调整其自身与传动筒4之间的角度的调平件8,即可实现驱动轴3与传动筒4之间的微调,进而能够通过工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3之间的紧密配合(推荐为过盈配合)实现工艺盘01角度的微调,使工艺盘01保持水平,提高加工精度。本实用新型对调平件8与驱动轴3如何夹持内凸台结构41不做具体限定,例如,如图3、图14所示,工艺盘组件还包括中心螺钉。且在整个价值链中,具备可追溯性;HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工加工件
我们通常使用 3 轴、4 轴和 5 轴CNC机器。环保半导体与电子工程塑料零件定制加工要求
从而能够缓解定位平面311两侧的应力集中现象,提高了驱动轴3和驱动衬套2上应力分布的均匀性。并且,在本实施例中,两圆柱面312与驱动衬套2套孔中的相应圆柱面相配合,能够实现定位平面311的精确定位,保证定位平面311与驱动衬套2套孔中的平面紧密贴合,避免平面之间的空隙导致驱动轴3和驱动衬套2在传动过程中相互碰撞、磨损。此外,两定位平面311以驱动轴3的轴线为对称中心对称设置,使得驱动轴3与驱动衬套2通过平面传动时受到的力矩也是中心对称的,避免了驱动衬套2与驱动轴3的轴线之间发生偏移,保证了定位精度。为提高工艺盘组件结构的整体强度,推荐地,如图6所示,驱动衬套2包括相互连接的***衬套部210和第二衬套部220,***衬套部210和第二衬套部220沿工艺盘转轴1的轴线方向排列,第二衬套部220位于***衬套部210朝向驱动轴体部320的一侧,驱动衬套2的套孔包括形成在***衬套部210中的驱动通孔211和形成在第二衬套部220中的轴通孔221,驱动通孔211与驱动连接部310匹配;***衬套部210的外径小于第二衬套部220的外径,定位凸起222形成在第二衬套部220的外壁上,且第二衬套部220与工艺盘转轴1的安装孔相配合。在本实用新型的实施例中。环保半导体与电子工程塑料零件定制加工要求
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